《压电与声光》编辑部

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              《 压 电 与 声 光 》 编 辑 部 请 选 择 中 文 标 题 英 文 标 题 作 者 中 文 名 作 者 英 文 名 中 文 摘 要 英 文 摘 要 中 文 关 键 词 英 文 关 键 词 单 位 中 文 名 单 位 英 文 名 中 图 分 类 号 D O I 高 级 搜 索 首 页 期 刊 介 绍 编 委 会 编 辑 部 投 稿 须 知 信 息 公 告 联 系 我 们 论 文 查 重 E n g l i s h 0 作 者 登 录 审 稿 登 录 读 者 登 录 编 辑 登 录 特 邀 专 题 M o r e > > 精 彩 推 荐 M o r e > > 编 辑 部 动 态 M o r e > > 《 压 电 与 声 光 》 入 选 《 科 技 期 刊 世 界 影 响 力 指 数 （ W J C I ） 报 告 （ 2 0 2 4 ） 》 严 正 声 明 关 于 暑 假 期 间 的 录 用 通 知 作 者 园 地 M o r e > > 投 稿 指 南 《 压 电 与 声 光 》 著 作 权 转 让 协 议 保 密 回 执 修 改 稿 要 求 E I 文 摘 要 求 关 键 词 选 取 作 图 要 求 投 稿 模 版 中 图 分 类 号 查 询 参 考 文 献 著 录 格 式 友 情 链 接 中 国 电 子 科 技 集 团 公 司 第 二 十 六 研 究 所 重 庆 科 技 期 刊 学 会 官 网 《 激 光 与 红 外 》 期 刊 微 信 二 维 码 《 压 电 与 声 光 》 官 网 《 压 电 与 声 光 》 公 众 号 访 问 统 计 今 日 访 问 量 ： 总 访 问 量 ： 《 压 电 与 声 光 》 是 由 中 国 电 子 科 技 集 团 公 司 （ 原 电 子 部 ） 第 二 十 六 研 究 所 ( 四 川 压 电 与 声 光 技 术 研 究 所 ) 主 办 、 国 内 外 公 开 发 行 的 学 术 性 与 技 术 性 相 结 合 的 刊 物 。 
 国 内 统 一 刊 号 ： C N 5 0 — 1 0 9 1 / T N ； 国 际 标 准 刊 号 ： I S S N 1 0 0 4 — 2 4 7 4 ； 国 际 刊 名 代 码 （ C O D E N ） ： Y A S H E 7 。 
 双 月 刊 ， 大 1 6 开 ， 1 6 0 页 ， 每 逢 双 月 出 版 。 
 《 压 电 与 声 光 》 是 中 文 核 心 期 刊 ； 中 国 科 技 核 心 期 刊 ； E l s e v i e r S c o p u s 数 据 库 收 录 期 刊 ； 美 国 《 E B S C O 》 数 据 库 ； 美 国 《 化 学 文 摘 》 （ C A ） 收 录 期 刊 ； 日 本 《 科 学 技 术 文 献 速 报 》 （ J I C S T ） 收 录 期 刊 ； 波 兰 《 哥 白 尼 索 引 》 （ I C ） 收 录 期 刊 ； 中 国 科 技 论 文 统 计 源 期 刊 ； 中 国 期 刊 方 阵 “ 双 效 期 刊 ” ； 《 中 国 学 术 期 刊 （ 光 盘 版 ） 》 、 《 中 国 期 刊 网 》 全 文 收 录 期 刊 等 。 
 [ M O R E ] 当 期 目 录 已 录 用 过 刊 浏 览 虚 拟 专 刊 下 载 排 行 引 用 排 行 文 章 快 速 检 索 全 选 反 选 导 出 第 4 6 卷 第 5 期 | 2 0 2 4 年 显 示 模 式 ： 目 录 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) , D O I : [ 摘 要 ] ( 3 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 2 4 . 6 9 K K B ] ( 6 3 ) A b s t r a c t : 专 栏 : 压 电 超 声 换 能 器 在 被 动 声 学 中 的 研 究 与 应 用 基 于 压 电 超 声 换 能 器 的 被 动 声 学 发 展 及 应 用 综 述 毛 宇 宸 ， 沈 建 东 ， 刘 涛 ， 杨 嘉 倩 ， 豆 涵 杰 ， 张 汪 洋 ， 牟 笑 静 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 6 1 7 6 3 3 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 0 [ 摘 要 ] ( 1 4 2 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 4 . 4 1 M K B ] ( 9 2 ) A b s t r a c t : 深 入 探 讨 了 微 电 子 机 械 系 统 ( M E M S ) 在 被 动 声 学 领 域 的 应 用 , 特 别 关 注 了 压 电 效 应 、 常 用 压 电 材 料 和 传 感 结 构 设 计 三 方 面 。 
 阐 述 了 压 电 效 应 的 基 本 概 念 , 介 绍 了 石 英 、 P Z T ( 锆 钛 酸 铅 ) 和 Z n O ( 氧 化 锌 ) 等 主 要 的 压 电 材 料 , 这 些 材 料 因 其 出 色 的 压 电 特 性 而 被 广 泛 用 于 M E M S 技 术 。 
 同 时 详 细 分 析 了 悬 臂 梁 、 薄 膜 等 传 感 结 构 , 这 些 结 构 能 够 高 效 地 将 声 波 能 量 转 换 为 电 信 号 。 
 特 别 介 绍 了 M E M S 麦 克 风 、 M E M S 水 听 器 和 M E M S 声 发 射 传 感 器 3 种 具 有 代 表 性 的 M E M S 声 学 器 件 , 并 详 细 说 明 其 工 作 原 理 及 其 在 不 同 领 域 的 应 用 。 
 最 后 对 M E M S 声 学 器 件 在 消 费 电 子 、 工 业 检 测 、 环 境 监 测 、 军 事 及 医 疗 等 领 域 的 应 用 进 行 总 结 , 并 对 其 未 来 发 展 趋 势 进 行 了 展 望 。 
 用 于 管 道 入 侵 定 位 检 测 的 M E M S 声 传 感 器 刘 涛 ， 豆 涵 杰 ， 李 军 ， 李 志 浩 ， 张 继 轩 ， 杨 嘉 倩 ， 张 明 洋 ， 牟 笑 静 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 6 3 4 6 3 7 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 0 2 [ 摘 要 ] ( 7 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 6 8 M K B ] ( 6 8 ) A b s t r a c t : 管 道 入 侵 破 坏 会 造 成 环 境 严 重 污 染 以 及 财 产 的 重 大 损 失 , 基 于 声 学 技 术 的 管 道 破 坏 定 位 技 术 已 成 为 发 展 趋 势 。 
 提 出 了 一 种 基 于 P M U T 的 M E M S 声 传 感 器 , 通 过 氧 化 铝 环 氧 树 脂 填 充 的 方 式 实 现 了 声 阻 抗 匹 配 与 高 可 靠 性 封 装 。 
 将 两 个 微 机 电 系 统 ( M E M S ) 声 传 感 器 安 装 在 管 道 入 侵 定 位 检 测 系 统 中 , 并 敲 击 管 道 模 拟 入 侵 场 景 , 然 后 采 集 管 道 中 传 播 的 声 信 号 并 对 其 进 行 分 析 。 
 结 果 表 明 , 声 信 号 在 管 道 中 的 传 播 速 度 为 2 4 4 9 m / s , 基 于 声 信 号 的 管 道 入 侵 定 位 检 测 方 法 的 定 位 相 对 误 差 小 于 2 % , 证 明 了 M E M S 声 传 感 器 用 于 管 道 入 侵 定 位 监 测 的 可 行 性 。 
 基 于 M E M S 声 发 射 传 感 器 的 齿 轮 故 障 检 测 系 统 张 继 轩 ， 豆 涵 杰 ， 刘 涛 ， 李 志 浩 ， 杨 晓 ， 张 明 洋 ， 毛 宇 宸 ， 牟 笑 静 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 6 3 8 6 4 3 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 0 3 [ 摘 要 ] ( 5 7 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 9 3 M K B ] ( 5 8 ) A b s t r a c t : 声 发 射 传 感 器 广 泛 应 用 于 装 备 实 时 健 康 检 测 , 而 传 统 使 用 的 压 电 陶 瓷 换 能 器 存 在 体 积 大 、 能 耗 高 、 难 集 成 及 成 本 高 等 问 题 , 因 此 设 计 了 基 于 S c A l N 的 六 边 形 压 电 薄 膜 声 发 射 传 感 器 。 
 该 传 感 器 的 体 积 为 1 8 m m × 6 m m , 在 4 0 ~ 5 0 0 k H z 带 宽 内 , 其 表 面 波 和 纵 波 灵 敏 度 均 高 于 6 0 d B [ R e f . V / ( m / s ) ] 。 
 通 过 匹 配 层 设 计 和 封 装 后 , 搭 建 了 齿 轮 故 障 检 测 系 统 , 能 有 效 区 分 正 常 齿 轮 和 断 齿 信 号 。 
 测 试 结 果 表 明 , 基 于 微 机 电 系 统 ( M E M S ) 的 压 电 薄 膜 声 发 射 传 感 器 可 同 时 兼 顾 高 灵 敏 度 和 微 型 化 , 在 齿 轮 故 障 诊 断 方 面 具 有 较 高 的 可 靠 性 和 准 确 性 。 
 基 于 阵 列 型 压 电 能 量 收 集 器 的 中 高 频 自 供 电 系 统 赵 晨 曦 ， 吴 鹏 凡 ， 邱 宇 ， 刘 洪 涛 ， 刘 宇 ， 宋 益 辉 ， 牟 笑 静 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 6 4 4 6 5 0 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 0 4 [ 摘 要 ] ( 3 9 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 5 4 M K B ] ( 5 9 ) A b s t r a c t : 随 着 物 联 网 ( I o T ) 的 发 展 , 无 线 自 供 电 传 感 是 实 现 感 知 机 体 状 态 和 飞 行 环 境 的 重 要 技 术 手 段 。 
 机 体 振 动 具 有 分 布 范 围 广 , 激 励 频 率 高 和 频 域 宽 等 特 点 , 单 一 压 电 能 量 收 集 器 难 以 有 效 俘 获 能 量 。 
 针 对 上 述 问 题 , 研 制 了 一 套 基 于 阵 列 型 压 电 能 量 收 集 器 的 自 供 电 传 感 系 统 。 
 该 系 统 由 阵 列 型 压 电 能 量 收 集 器 、 电 源 管 理 电 路 、 传 感 节 点 、 低 功 耗 蓝 牙 及 微 控 制 器 组 成 。 
 压 电 能 量 收 集 器 采 用 压 电 厚 膜 方 案 , 在 谐 振 频 率 6 9 3 H z , 2 g 下 最 高 平 均 输 出 功 率 密 度 为 4 m W · c m 3 · g 2 。 
 电 源 管 理 电 路 采 用 改 进 的 整 流 器 设 计 和 欠 压 锁 定 电 路 ( U V L O ) 实 现 高 效 能 量 传 输 与 能 量 释 放 , 充 电 速 度 是 普 通 整 流 器 的 1 . 3 倍 , 最 大 输 出 功 率 达 到 1 . 3 2 m W , 结 合 微 处 理 器 进 行 时 序 控 制 可 达 到 动 态 平 衡 , 实 现 了 固 定 间 隔 时 间 持 续 的 数 据 读 取 和 发 送 。 
 宽 带 温 度 补 偿 型 声 表 面 波 滤 波 器 的 设 计 与 优 化 谭 发 曾 ， 李 桦 林 ， 马 晋 毅 ， 陈 文 远 ， 胡 明 浪 ， 杜 雪 松 ， 詹 雪 奎 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 6 5 1 6 5 4 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 0 5 [ 摘 要 ] ( 6 7 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 4 9 M K B ] ( 7 4 ) A b s t r a c t : 提 出 了 一 种 宽 带 温 度 补 偿 型 声 表 面 波 滤 波 器 的 设 计 方 法 。 
 通 过 研 究 铌 酸 锂 衬 底 不 同 欧 拉 角 、 不 同 电 极 材 料 和 厚 度 对 声 表 面 波 谐 振 器 频 率 响 应 和 杂 散 抑 制 的 影 响 , 确 定 了 宽 带 温 度 补 偿 型 声 表 面 波 滤 波 器 的 最 佳 切 向 和 电 极 结 构 。 
 所 制 备 的 宽 带 声 表 面 波 滤 波 器 的 温 度 系 数 优 于 1 8 . 9 × 1 0 6 / ℃ , 3 d B 相 对 带 宽 为 7 . 8 4 % , 插 入 损 耗 为 0 . 9 3 d B , 展 现 出 良 好 的 带 外 抑 制 。 
 一 种 小 型 化 高 性 能 薄 膜 体 声 波 双 工 器 设 计 方 法 张 智 欣 ， 陈 长 娥 ， 韩 茜 茜 ， 史 向 龙 ， 魏 家 贵 ， 苏 波 ， 范 佰 杰 ， 林 树 超 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 6 5 5 6 5 9 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 0 6 [ 摘 要 ] ( 5 7 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 1 5 M K B ] ( 6 9 ) A b s t r a c t : 针 对 射 频 前 端 对 双 工 器 小 型 化 的 使 用 需 求 , 采 用 拓 扑 结 构 设 计 、 匹 配 设 计 、 版 图 设 计 和 封 装 设 计 等 设 计 方 法 , 研 制 出 一 款 小 型 化 高 性 能 薄 膜 体 声 波 ( F B A R ) 双 工 器 , 其 接 收 端 频 率 为 1 8 0 5 ~ 1 8 8 0 M H z , 发 射 端 频 率 为 1 7 1 0 ~ 1 7 8 5 M H z , 通 带 内 整 体 插 入 损 耗 ≤ 3 . 0 d B , 通 道 频 段 的 相 互 抑 制 ≥ 5 0 d B , 隔 离 度 ≥ 5 0 d B , 尺 寸 为 2 . 0 m m × 1 . 6 m m × 0 . 9 m m 。 
 该 双 工 器 具 有 小 体 积 、 低 插 损 、 高 阻 带 、 高 隔 离 等 特 性 , 符 合 应 用 系 统 对 双 工 器 的 使 用 需 求 。 
 基 于 S I R 的 低 损 耗 双 频 宽 带 滤 波 器 张 梦 璐 ， 孙 鑫 营 ， 荣 垂 才 ， 徐 赟 ， 廖 昱 博 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 6 6 0 6 6 3 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 0 7 [ 摘 要 ] ( 4 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 6 4 M K B ] ( 5 7 ) A b s t r a c t : 提 出 一 种 采 用 折 叠 阶 跃 阻 抗 谐 振 器 结 构 的 双 频 微 带 带 通 滤 波 器 。 
 利 用 新 型 平 行 电 耦 合 方 式 实 现 了 滤 波 器 的 小 型 化 , 引 入 零 度 馈 电 结 构 产 生 传 输 零 点 以 改 善 带 外 抑 制 性 能 。 
 实 验 结 果 表 明 , 该 滤 波 器 结 构 紧 凑 , 损 耗 低 , 带 外 抑 制 性 能 好 , 且 通 带 的 中 心 频 率 分 别 为 2 . 4 G H z 和 5 . 2 G H z , 带 内 性 能 良 好 , 最 小 插 损 分 别 为 0 . 7 2 d B 和 0 . 6 9 d B 。 
 小 型 化 抗 脉 冲 介 质 滤 波 器 设 计 蒋 廷 利 ， 韦 俊 杰 ， 马 睿 ， 聂 谢 平 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 6 6 4 6 6 9 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 0 8 [ 摘 要 ] ( 2 3 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 7 4 M K B ] ( 4 9 ) A b s t r a c t : 传 统 的 大 功 率 腔 体 、 L C 滤 波 器 体 积 较 大 , 不 符 合 在 通 信 设 备 环 境 中 器 件 小 型 化 、 轻 量 化 的 应 用 需 求 , 因 此 设 计 了 一 款 小 体 积 、 大 功 率 介 质 滤 波 器 。 
 该 滤 波 器 采 用 具 有 高 品 质 因 数 ( Q f ) 值 、 高 介 电 常 数 的 微 波 陶 瓷 材 料 , 在 保 持 滤 波 器 低 损 耗 的 前 提 下 缩 小 其 体 积 。 
 采 用 三 维 场 路 联 合 仿 真 并 结 合 参 数 提 取 的 方 法 , 缩 短 了 设 计 周 期 。 
 对 功 率 容 量 进 行 分 析 , 通 过 结 构 的 改 进 提 升 了 最 大 场 强 处 介 质 抗 击 穿 强 度 , 提 高 了 承 受 高 功 率 脉 冲 的 能 力 。 
 对 所 设 计 的 样 品 进 行 测 试 , 测 试 结 果 表 明 , 在 S 波 段 相 对 带 宽 1 4 . 5 % 内 , 带 内 插 损 小 于 0 . 7 d B , 在 近 端 频 率 点 2 6 9 0 M H z 处 , 抑 制 大 于 2 2 d B ; 在 频 率 3 6 0 0 ~ 4 2 0 0 M H z 内 , 抑 制 大 于 3 2 d B , 可 通 过 超 1 0 W 的 功 率 信 号 。 
 该 介 质 滤 波 器 尺 寸 为 2 3 m m × 1 0 m m × 1 0 m m , 能 够 应 用 于 大 功 率 通 信 系 统 环 境 中 。 
 基 于 一 体 式 S 波 段 陶 瓷 介 质 滤 波 器 的 研 究 韦 俊 杰 ， 蒋 廷 利 ， 马 睿 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 6 7 0 6 7 4 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 0 9 [ 摘 要 ] ( 2 9 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 0 0 M K B ] ( 5 5 ) A b s t r a c t : 引 用 C S T 三 维 电 磁 仿 真 软 件 提 出 了 一 种 三 阶 介 质 滤 波 器 的 设 计 方 法 。 
 通 过 源 与 第 二 谐 振 器 或 负 载 与 第 三 谐 振 器 构 成 级 联 三 节 ( C T ) 交 叉 耦 合 结 构 产 生 传 输 零 点 的 方 式 , 满 足 更 高 频 率 端 的 高 抑 制 要 求 。 
 第 二 谐 振 器 与 第 三 谐 振 器 开 路 端 电 极 相 连 , 形 成 三 阶 滤 波 器 结 构 实 现 了 低 损 耗 性 能 。 
 4 个 谐 振 器 短 路 端 被 缩 短 , 从 而 扩 大 了 电 极 可 调 试 区 域 以 简 化 滤 波 器 的 调 试 复 杂 度 。 
 一 体 式 介 质 滤 波 器 采 用 介 电 常 数 为 4 5 . 9 的 陶 瓷 材 料 制 作 样 品 并 进 行 测 试 。 
 测 试 结 果 表 明 , 所 设 计 的 介 质 滤 波 器 1 d B 带 宽 为 1 1 7 M H z , 通 带 频 率 范 围 2 0 8 4 ~ 2 1 0 4 M H z 的 插 入 损 耗 ( I L ) 小 于 1 . 2 d B , 通 带 驻 波 比 小 于 1 . 2 8 , 高 端 频 率 2 . 2 G H z 处 的 衰 减 为 3 4 . 3 5 d B , 低 端 频 率 1 . 6 G H z 处 的 抑 制 为 3 1 . 0 4 d B , 滤 波 器 外 形 尺 寸 为 1 0 . 4 1 m m × 3 . 7 m m × 4 . 5 7 m m 。 
 测 试 结 果 与 仿 真 结 果 吻 合 度 高 。 
 一 种 适 用 于 窄 带 滤 波 器 的 新 型 谐 振 器 结 构 陈 思 艺 ， 徐 宇 彤 ， 李 念 ， 陈 峰 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 6 7 5 6 7 9 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 1 0 [ 摘 要 ] ( 3 9 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 4 0 M K B ] ( 6 4 ) A b s t r a c t : 滤 波 器 作 为 信 号 传 输 过 程 中 的 关 键 器 件 , 具 有 筛 选 、 过 滤 传 输 信 号 的 作 用 。 
 提 出 了 一 种 适 用 于 窄 带 滤 波 器 的 新 型 谐 振 器 结 构 , 通 过 堆 叠 c 轴 取 向 相 反 的 异 质 压 电 薄 膜 , 削 弱 机 电 耦 合 效 应 , 从 而 降 低 谐 振 器 的 有 效 带 宽 。 
 首 先 阐 述 了 新 型 窄 带 谐 振 器 结 构 的 工 作 原 理 , 再 对 传 统 M a s o n 电 路 模 型 进 行 修 正 , 采 用 分 段 式 四 端 口 传 输 线 及 双 变 压 器 模 型 进 行 建 模 , 使 其 适 用 于 所 提 出 的 谐 振 器 结 构 , 同 时 将 电 路 仿 真 与 有 限 元 仿 真 的 结 果 进 行 对 比 , 以 验 证 电 路 模 型 的 准 确 性 。 
 采 用 常 见 的 阶 梯 型 拓 扑 构 造 了 窄 带 滤 波 器 的 原 理 电 路 , 通 过 仿 真 得 到 滤 波 器 的 传 输 特 性 曲 线 , 论 证 了 窄 带 滤 波 的 可 行 性 。 
 一 种 抑 制 声 表 面 波 器 件 横 向 能 量 泄 露 结 构 及 其 应 用 李 世 国 ， 褚 梦 群 ， 胡 丞 稷 ， 郑 泽 渔 ， 杜 雪 松 ， 董 加 和 ， 陆 川 ， 李 桦 林 ， 陈 彦 光 ， 汪 红 兵 ， 马 晋 毅 ， 肖 强 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 6 8 0 6 8 4 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 1 1 [ 摘 要 ] ( 4 8 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 6 3 M K B ] ( 7 3 ) A b s t r a c t : 采 用 4 2 ° Y X L i T a O 3 基 底 的 声 表 面 波 ( S A W ) 滤 波 器 、 多 工 器 易 产 生 横 向 能 量 泄 露 效 应 , 这 种 效 应 的 产 生 会 增 大 S A W 器 件 的 插 损 、 缩 减 有 效 带 宽 、 降 低 矩 形 度 等 。 
 为 了 抑 制 声 表 面 波 的 横 向 能 量 泄 露 , 提 出 了 一 种 假 指 加 宽 结 构 , 并 通 过 有 限 元 仿 真 验 证 了 该 结 构 的 有 效 性 。 
 将 该 结 构 应 用 于 B a n d 4 0 和 B a n d 4 1 S A W 滤 波 器 设 计 中 , 实 验 结 果 表 明 , 该 结 构 在 不 增 加 任 何 工 艺 复 杂 度 的 情 况 下 能 有 效 抑 制 S A W 器 件 的 横 向 能 量 泄 露 , 从 而 减 小 S A W 器 件 的 通 带 插 损 、 增 加 有 效 带 宽 、 提 高 矩 形 度 等 。 
 该 结 构 能 够 拓 展 应 用 于 其 他 频 段 的 S A W 器 件 。 
 一 种 高 频 率 稳 定 度 模 拟 温 度 补 偿 晶 体 振 荡 器 贺 旭 东 ， 张 一 帆 ， 董 超 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 6 8 5 6 8 9 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 1 2 [ 摘 要 ] ( 3 3 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 5 9 M K B ] ( 5 2 ) A b s t r a c t : 介 绍 了 一 种 高 频 率 稳 定 度 模 拟 温 度 补 偿 晶 体 振 荡 器 。 
 采 用 温 度 传 感 器 , 一 阶 、 三 阶 、 四 阶 、 五 阶 电 压 函 数 发 生 器 , 加 法 器 等 单 元 电 路 产 生 温 度 补 偿 电 压 V C , 再 将 V C 电 压 输 入 至 压 控 振 荡 器 中 的 变 容 二 极 管 , 对 A T 切 型 石 英 晶 体 频 率 进 行 温 度 补 偿 。 
 相 比 于 传 统 的 直 接 型 模 拟 温 度 补 偿 方 案 , 该 方 案 所 设 计 的 产 品 具 有 更 小 的 体 积 , 解 决 了 间 接 型 数 字 温 度 补 偿 方 案 频 率 突 变 的 问 题 。 
 采 用 0 . 1 8 μ m 工 艺 加 工 芯 片 , 芯 片 面 积 仅 1 . 5 m m × 1 . 2 m m 。 
 实 测 结 果 表 明 , 在 4 0 ~ 8 5 ℃ 内 补 偿 精 度 在 ± 0 . 2 8 × 1 0 6 内 , 1 k H z 相 位 噪 声 低 于 1 4 3 d B c / H z 。 
 K 频 段 小 型 化 四 通 道 天 线 接 口 单 元 设 计 与 实 现 钟 鸣 海 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 6 9 0 6 9 4 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 1 3 [ 摘 要 ] ( 2 7 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 3 4 M K B ] ( 5 6 ) A b s t r a c t : 为 了 适 应 机 载 射 频 前 端 小 型 化 的 需 求 , 设 计 了 一 种 基 于 S i P ( S y s t e m i n P a c k a g e ) 技 术 的 K 频 段 四 通 道 天 线 接 口 单 元 。 
 该 单 元 采 用 二 次 超 外 差 变 频 构 架 , 主 要 由 两 个 硅 基 封 装 的 变 频 双 通 道 集 成 S i P 模 块 以 及 高 低 本 振 集 成 锁 相 环 S i P 模 块 组 成 。 
 硅 基 变 频 S i P 模 块 采 用 P o P ( P a c k a g e o n P a c k a g e ) 方 式 实 现 不 同 功 能 电 路 封 装 的 上 下 堆 叠 , 保 证 了 良 好 的 电 磁 兼 容 和 输 出 杂 散 抑 制 。 
 堆 叠 好 的 硅 基 封 装 通 过 B G A 植 入 陶 瓷 封 装 中 , 实 现 了 高 可 靠 的 气 密 性 。 
 基 于 S i P 技 术 的 四 通 道 天 线 接 口 单 元 体 积 仅 为 5 8 . 2 m m × 4 0 . 3 m m × 1 1 . 0 m m , 在 保 持 优 良 电 性 能 指 标 前 提 下 , 相 比 于 传 统 方 式 设 计 , 四 通 道 天 线 接 口 单 元 在 体 积 和 质 量 上 均 大 幅 缩 减 8 6 % 以 上 , 在 机 载 、 弹 载 等 对 设 备 轻 小 型 化 要 求 较 高 的 平 台 上 具 有 广 阔 的 应 用 前 景 。 
 陶 瓷 封 装 S A W 滤 波 器 除 金 工 艺 研 究 唐 盘 良 ， 李 亚 飞 ， 黄 莹 ， 张 钧 翀 ， 冷 俊 林 ， 马 晋 毅 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 6 9 5 6 9 9 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 1 4 [ 摘 要 ] ( 3 4 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 5 0 M K B ] ( 7 0 ) A b s t r a c t : 针 对 陶 瓷 封 装 声 表 面 波 ( S A W ) 滤 波 器 焊 盘 除 金 问 题 , 提 出 了 载 板 搪 锡 工 艺 的 解 决 方 案 。 
 通 过 制 作 外 扩 焊 盘 的 搪 锡 载 板 进 行 滤 波 器 批 量 贴 装 , 在 加 热 台 上 进 行 回 流 以 溶 解 焊 盘 镀 金 层 , 取 下 上 锡 器 件 后 用 真 空 吸 锡 枪 吸 去 焊 盘 表 面 焊 锡 , 即 可 达 到 除 金 目 的 。 
 详 细 介 绍 了 搪 锡 载 板 的 焊 盘 设 计 , 利 用 红 外 测 温 仪 对 操 作 过 程 进 行 监 控 , 对 除 金 后 的 器 件 进 行 焊 盘 表 面 、 焊 点 界 面 分 析 以 及 环 境 试 验 验 证 。 
 试 验 表 明 , 焊 盘 表 面 镀 金 层 被 完 全 去 除 , 除 金 后 的 器 件 具 有 较 高 的 可 靠 性 。 
 用 于 压 电 单 晶 薄 膜 晶 圆 制 备 的 键 合 面 清 洗 技 术 研 究 刘 善 群 ， 丁 雨 憧 ， 陈 哲 明 ， 石 自 彬 ， 龙 勇 ， 邹 少 红 ， 庾 桂 秋 ， 张 莉 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 7 0 0 7 0 3 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 1 5 [ 摘 要 ] ( 2 1 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 3 4 M K B ] ( 6 4 ) A b s t r a c t : 高 性 能 薄 膜 声 表 面 波 滤 波 器 对 压 电 单 晶 薄 膜 晶 圆 键 合 面 的 洁 净 度 提 出 了 严 苛 的 要 求 。 
 目 前 采 用 的 常 规 清 洗 技 术 对 因 离 子 注 入 后 而 残 留 的 大 量 颗 粒 等 污 染 物 的 去 除 效 率 低 , 导 致 键 合 晶 圆 存 在 较 多 气 泡 或 者 空 洞 , 因 此 提 出 了 一 种 采 用 硫 酸 与 过 氧 化 氢 混 合 溶 液 ( S P M ) 清 洗 和 新 型 复 合 清 洗 液 刷 洗 清 洗 技 术 的 两 步 清 洗 法 。 
 采 用 此 工 艺 后 , 晶 圆 表 面 的 颗 粒 数 由 离 子 注 入 后 的 1 4 8 0 0 0 降 到 2 3 , 有 效 去 除 了 晶 圆 键 合 面 沾 污 、 颗 粒 等 污 染 物 , 显 著 提 高 了 键 合 晶 圆 的 质 量 。 
 该 清 洗 技 术 已 成 功 应 用 于 压 电 单 晶 薄 膜 晶 圆 L T O I 材 料 的 制 备 。 
 M g N b 2 O 6 掺 杂 ( B a , S r ) T i O 3 基 电 容 器 陶 瓷 介 电 性 能 的 研 究 陈 映 义 ， 陈 磊 ， 彭 道 华 ， 陈 甲 天 ， 陈 应 和 ， 黄 新 友 ， 牛 继 恩 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 7 0 4 7 0 9 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 1 6 [ 摘 要 ] ( 2 3 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 7 5 M K B ] ( 5 4 ) A b s t r a c t : 采 用 固 相 法 制 备 M g N b 2 O 6 ( M N O ) 掺 杂 ( B a 0 . 7 9 S r 0 . 2 1 ) T i O 3 ( ( B a , S r ) T i O 3 ) 基 电 容 器 陶 瓷 。 
 采 用 X R D 、 S E M 等 研 究 了 M g N b 2 O 6 掺 杂 对 ( B a , S r ) T i O 3 基 电 容 器 陶 瓷 的 物 相 、 显 微 结 构 及 介 电 性 能 影 响 。 
 结 果 表 明 , 随 着 M N O 掺 杂 量 的 增 加 , ( B a , S r ) T i O 3 基 电 容 器 陶 瓷 的 介 电 常 数 逐 渐 减 小 , 陶 瓷 的 介 电 损 耗 先 增 大 后 减 小 再 增 大 , 陶 瓷 的 电 阻 率 先 减 小 后 增 大 再 减 小 , 陶 瓷 的 耐 压 强 度 先 减 小 后 增 大 再 减 小 。 
 当 M N O 掺 杂 量 ( 质 量 分 数 ) 为 2 . 0 % 时 , 陶 瓷 的 介 电 常 数 达 到 最 大 值 ( 为 1 6 7 0 ) , 陶 瓷 的 介 电 损 耗 有 最 小 值 ( 为 0 . 0 0 5 6 ) 。 
 当 M N O 掺 杂 量 ( 质 量 分 数 ) 为 8 % 时 , 陶 瓷 的 电 阻 率 有 最 大 值 ( 为 6 5 . 2 3 × 1 0 1 0 Ω · c m ) , 耐 压 强 度 的 最 大 值 为 7 . 7 k V / m m ( D C ) 。 
 当 掺 杂 M N O 量 ( 质 量 分 数 ) 为 1 0 % 时 , 陶 瓷 的 电 容 温 度 变 化 率 为 + 0 . 1 8 % , 2 8 . 2 9 % 。 
 M N O 掺 杂 ( B a , S r ) T i O 3 基 电 容 器 陶 瓷 是 钙 钛 矿 结 构 。 
 掺 杂 M N O 能 够 降 低 陶 瓷 的 电 容 温 度 变 化 率 。 
 K 0 . 5 N a 0 . 5 N b O 3 x L i N b O 3 陶 瓷 的 相 转 变 与 压 电 性 能 温 度 稳 定 性 研 究 肖 荣 振 ， 徐 鹏 ， 燕 小 斌 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 7 1 0 7 1 5 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 1 7 [ 摘 要 ] ( 2 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 8 7 M K B ] ( 4 9 ) A b s t r a c t : 采 用 常 规 陶 瓷 工 艺 制 备 了 K 0 . 5 N a 0 . 5 N b O 3 x L i N b O 3 ( K N N x L N ) 基 无 铅 压 电 陶 瓷 。 
 采 用 介 电 温 度 谱 结 合 X R D 系 统 研 究 了 铌 酸 锂 ( L N ) 掺 杂 对 K N N 陶 瓷 相 结 构 与 压 电 性 能 温 度 稳 定 性 的 影 响 规 律 与 机 制 。 
 结 果 表 明 , L N 在 K N N 陶 瓷 中 的 固 溶 度 范 围 内 ( 约 小 于 1 0 % ( 摩 尔 分 数 ) ) , L N 掺 杂 具 有 同 时 提 升 K N N 陶 瓷 的 T C 与 降 低 陶 瓷 T O T 的 效 应 。 
 当 L N 的 掺 杂 量 ( 摩 尔 分 数 ) 为 6 % 时 , 可 使 陶 瓷 的 T O T 下 移 至 室 温 , 此 时 陶 瓷 为 正 交 相 与 四 方 相 两 相 共 存 , 陶 瓷 的 压 电 性 能 得 到 极 大 增 强 。 
 T C 的 提 升 增 强 了 陶 瓷 的 压 电 性 能 温 度 稳 定 性 , 当 L N 的 掺 杂 量 ( 摩 尔 分 数 ) x ~ 8 % , T C 增 加 至 4 7 9 ℃ , 此 组 分 陶 瓷 的 压 电 性 能 经 4 7 0 ℃ 热 处 理 后 仍 保 持 在 室 温 时 的 7 1 % , 表 现 出 良 好 的 温 度 稳 定 性 。 
 当 L N 超 过 固 溶 度 后 , 部 分 L N 倾 向 于 与 K 元 素 生 成 第 二 相 , 未 反 应 的 L N 因 其 强 热 释 电 效 应 导 致 陶 瓷 的 d 3 3 呈 现 出 随 热 处 理 温 度 升 高 而 增 强 的 伪 增 强 趋 势 。 
 3 2 型 陶 瓷 空 气 复 合 材 料 振 动 状 态 的 研 究 井 苏 杰 ， 于 肇 贤 ， 王 宏 伟 ， 邵 震 ， 李 林 诺 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 7 1 6 7 2 1 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 1 8 [ 摘 要 ] ( 2 5 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 7 3 M K B ] ( 4 3 ) A b s t r a c t : 3 2 型 陶 瓷 空 气 复 合 材 料 是 在 1 3 型 压 电 复 合 材 料 的 结 构 基 础 上 改 进 而 来 。 
 3 2 型 压 电 材 料 由 P Z T 5 A 和 空 气 复 合 而 成 。 
 首 先 使 用 A N S Y S 有 限 元 仿 真 软 件 的 模 态 分 析 研 究 了 3 2 型 压 电 复 合 材 料 做 厚 度 伸 缩 振 动 。 
 其 次 通 过 谐 响 应 分 析 了 敏 感 元 件 在 正 弦 信 号 激 励 下 的 稳 态 响 应 , 讨 论 了 压 电 材 料 陶 瓷 体 积 分 数 对 其 振 动 特 性 的 影 响 , 研 究 了 不 同 体 积 分 数 压 电 陶 瓷 材 料 在 厚 度 振 动 谐 振 频 率 下 的 振 动 位 移 。 
 最 后 通 过 实 验 制 备 了 3 2 型 压 电 材 料 的 实 物 样 品 , 使 用 激 光 测 振 仪 测 量 压 电 振 子 的 振 动 状 况 , 并 对 仿 真 数 据 进 行 验 证 。 
 结 果 表 明 , 在 正 弦 信 号 激 励 下 , 3 2 型 复 合 材 料 的 振 动 模 态 为 厚 度 伸 缩 振 动 , 振 动 位 移 最 大 值 为 3 . 8 4 0 n m ( 单 位 电 压 下 ) , 陶 瓷 体 积 占 比 的 变 化 不 会 对 振 动 位 移 产 生 太 大 影 响 。 
 一 种 基 于 动 态 p M U T 的 距 离 与 方 向 双 向 检 测 方 法 陶 金 燕 ， 李 加 东 ， 戴 晔 ， 商 文 玲 ， 王 丹 芮 ， 冯 昌 坤 ， 胡 益 民 ， 姚 术 涛 ， 塔 桂 峰 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 7 2 2 7 2 8 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 1 9 [ 摘 要 ] ( 3 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 2 0 M K B ] ( 3 8 ) A b s t r a c t : 超 声 波 传 感 器 是 移 动 机 器 人 广 泛 采 用 的 空 间 感 知 手 段 。 
 为 了 提 高 空 间 感 知 范 围 , 现 有 移 动 机 器 人 常 采 取 多 传 感 器 组 合 的 方 式 , 导 致 感 知 系 统 体 积 大 、 功 耗 高 、 系 统 复 杂 。 
 提 出 了 一 种 基 于 动 态 压 电 微 机 械 超 声 换 能 器 ( p M U T ) 的 检 测 方 法 , 实 现 了 单 颗 器 件 的 双 向 检 测 功 能 , 使 测 量 范 围 在 小 体 积 、 低 功 耗 情 况 下 获 得 成 倍 的 增 加 。 
 该 方 法 利 用 压 电 薄 膜 双 向 振 动 的 特 点 得 到 超 声 波 双 向 回 波 信 号 , 从 而 获 取 两 个 方 向 的 测 量 距 离 。 
 测 试 表 明 , 使 用 该 方 法 后 单 向 测 量 范 围 基 本 不 变 , 能 准 确 测 量 两 个 方 向 上 障 碍 物 的 距 离 , 并 在 动 态 情 况 下 反 映 障 碍 物 对 应 方 向 。 
 该 方 法 有 助 于 简 化 感 知 系 统 , 有 望 在 微 型 机 器 避 障 等 方 面 发 挥 重 要 作 用 。 
 一 种 可 驱 动 两 种 类 型 转 子 的 环 型 压 电 驱 动 器 李 争 ， 王 海 波 ， 王 楷 文 ， 高 帅 ， 孙 鹤 旭 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 7 2 9 7 4 0 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 2 0 [ 摘 要 ] ( 1 9 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 8 . 5 7 M K B ] ( 5 1 ) A b s t r a c t : 为 了 满 足 微 电 机 的 多 向 运 动 需 求 , 研 究 了 一 种 可 双 向 运 动 的 压 电 驱 动 器 , 并 对 其 性 能 进 行 了 设 计 和 分 析 。 
 该 驱 动 器 可 以 驱 动 直 线 型 和 圆 筒 型 两 种 动 子 , 适 用 于 多 种 工 作 环 境 。 
 首 先 阐 述 了 压 电 驱 动 器 的 基 本 结 构 和 原 理 , 建 立 了 驱 动 器 模 型 , 然 后 用 有 限 元 方 法 分 析 了 压 电 驱 动 器 的 变 形 模 式 。 
 经 实 验 验 证 , 压 电 驱 动 器 的 最 佳 工 作 频 率 为 2 . 2 7 k H z , 最 佳 驱 动 电 压 幅 值 为 1 5 0 V 。 
 在 该 激 励 信 号 下 , 直 线 型 压 电 驱 动 器 的 最 大 速 度 达 到 2 4 9 m m / s , 最 大 负 载 能 力 为 2 0 N 。 
 该 压 电 驱 动 器 能 够 实 现 双 向 运 动 和 稳 定 输 出 。 
 一 种 基 于 惯 性 致 动 的 四 足 压 电 移 动 机 器 人 研 究 李 运 菲 ， 祝 锡 晶 ， 李 婧 ， 高 国 栋 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 7 4 1 7 4 6 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 2 1 [ 摘 要 ] ( 2 2 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 7 6 M K B ] ( 3 4 ) A b s t r a c t : 设 计 了 一 种 基 于 压 电 双 晶 梁 的 L 型 压 电 驱 动 器 , 基 于 模 块 化 设 计 思 想 将 L 型 压 电 驱 动 器 应 用 于 压 电 移 动 机 器 人 的 研 制 。 
 压 电 移 动 机 器 人 由 4 个 周 向 分 布 的 L 型 压 电 驱 动 器 和 连 接 平 台 组 成 , 结 构 简 单 紧 凑 , 可 实 现 2 自 由 度 平 面 内 大 范 围 高 精 运 动 。 
 对 压 电 移 动 机 器 人 进 行 加 工 和 装 配 , 并 搭 建 测 试 平 台 对 压 电 移 动 机 器 人 的 运 动 输 出 特 性 进 行 实 验 研 究 。 
 测 试 结 果 表 明 , 压 电 移 动 机 器 人 具 有 兼 顾 高 精 度 、 快 速 度 、 高 稳 定 性 和 强 承 载 能 力 的 良 好 综 合 性 能 , 其 运 动 分 辨 率 为 1 μ m , 最 大 运 动 速 度 可 达 4 6 m m / s , 承 载 能 力 可 达 7 5 g , 在 微 纳 操 作 、 晶 圆 缺 陷 检 测 和 超 精 密 加 工 领 域 具 有 广 阔 的 应 用 前 景 。 
 具 有 力 放 大 功 能 的 压 电 俘 能 器 建 模 与 性 能 分 析 谢 建 宏 ， 刘 烈 鑫 ， 朱 立 青 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 7 4 7 7 5 4 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 2 2 [ 摘 要 ] ( 2 4 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 2 1 M K B ] ( 3 1 ) A b s t r a c t : 为 提 升 压 电 俘 能 器 的 能 量 转 换 效 率 , 将 压 电 堆 栈 耦 合 到 力 放 大 框 架 结 构 中 , 构 建 了 具 有 力 放 大 功 能 的 压 电 俘 能 器 。 
 基 于 压 电 效 应 本 构 方 程 , 对 单 独 压 电 堆 栈 进 行 了 理 论 建 模 、 有 限 元 仿 真 与 分 析 。 
 基 于 欧 拉 伯 努 利 梁 原 理 , 建 立 了 框 架 结 构 的 力 放 大 系 数 理 论 模 型 , 采 用 S o b o l ’ s 敏 感 性 分 析 方 法 确 定 了 敏 感 力 放 大 系 数 的 框 架 几 何 参 数 , 应 用 遗 传 算 法 结 合 有 限 元 建 模 对 力 放 大 框 架 进 行 了 结 构 优 化 。 
 基 于 最 优 结 构 的 力 放 大 框 架 , 建 立 了 压 电 俘 能 器 的 集 总 参 数 理 论 模 型 并 进 行 了 数 值 分 析 。 
 结 果 表 明 , 在 非 谐 振 激 励 下 该 压 电 俘 能 器 的 输 出 电 压 有 效 值 和 输 出 功 率 最 大 值 分 别 为 3 . 0 2 2 V 和 5 4 3 . 3 7 5 μ W , 分 别 是 单 独 压 电 堆 栈 输 出 电 压 有 效 值 和 输 出 功 率 最 大 值 的 7 . 7 4 倍 和 5 8 . 5 倍 。 
 相 比 于 单 独 压 电 堆 栈 , 该 压 电 俘 能 器 能 显 著 提 升 非 谐 振 激 励 下 的 输 出 电 压 和 输 出 功 率 。 
 具 有 翻 转 层 的 铌 酸 锂 梁 弯 曲 振 动 研 究 刘 冲 ， 黄 德 进 ， 陈 晖 ， 马 廷 锋 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 7 5 5 7 6 1 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 2 3 [ 摘 要 ] ( 3 5 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 2 3 M K B ] ( 3 0 ) A b s t r a c t : 研 究 了 一 种 具 有 翻 转 层 的 新 型 铌 酸 锂 梁 , 其 翻 转 层 与 常 规 层 的 压 电 系 数 具 有 相 反 的 符 号 , 在 厚 度 方 向 上 施 加 电 场 可 激 发 铌 酸 锂 梁 做 弯 曲 振 动 。 
 将 位 移 和 电 势 表 达 为 梁 的 厚 度 和 宽 度 方 向 的 幂 级 数 形 式 , 推 导 了 该 种 铌 酸 锂 梁 弯 曲 运 动 的 一 维 方 程 。 
 利 用 此 一 维 方 程 分 析 了 波 沿 梁 长 度 方 向 传 播 的 色 散 关 系 , 以 验 证 其 精 确 程 度 。 
 结 果 表 明 , 所 推 导 的 一 维 方 程 在 小 波 数 范 围 内 的 色 散 曲 线 与 三 维 精 确 解 结 果 吻 合 良 好 ; 再 用 所 得 一 维 方 程 分 析 了 梁 式 压 电 俘 能 器 的 输 出 功 率 密 度 和 输 出 效 率 , 将 所 得 结 果 与 由 二 维 理 论 、 三 维 理 论 所 得 结 果 进 行 对 比 。 
 结 果 表 明 , 一 维 方 程 所 得 结 果 与 三 维 方 程 的 结 果 接 近 , 说 明 其 在 压 电 器 件 领 域 极 具 应 用 潜 力 。 
 压 电 波 动 法 预 应 力 混 凝 土 锈 胀 监 测 数 值 模 拟 彭 中 ， 梁 亚 斌 ， 付 文 ， 严 小 伟 ， 蒋 田 勇 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 7 6 2 7 7 0 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 2 4 [ 摘 要 ] ( 2 5 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 5 . 4 2 M K B ] ( 2 9 ) A b s t r a c t : 受 工 作 环 境 、 服 役 时 间 等 因 素 影 响 , 预 应 力 钢 绞 线 将 发 生 锈 蚀 , 导 致 混 凝 土 锈 胀 开 裂 , 严 重 威 胁 着 结 构 的 耐 久 性 。 
 为 了 解 构 件 的 锈 蚀 开 裂 情 况 , 提 出 了 一 种 基 于 压 电 波 动 法 监 测 预 应 力 混 凝 土 锈 胀 开 裂 的 有 限 元 模 拟 方 法 。 
 运 用 A b a q u s 构 建 了 基 于 压 电 波 动 法 的 预 应 力 混 凝 土 锈 胀 开 裂 细 观 模 型 , 该 模 型 由 砂 浆 、 骨 料 、 构 造 钢 筋 、 预 应 力 钢 绞 线 及 压 电 陶 瓷 等 组 成 。 
 分 析 了 压 电 锈 蚀 P C 构 件 机 电 耦 合 过 程 , 实 现 了 基 于 压 电 应 力 波 法 监 测 钢 绞 线 锈 蚀 膨 胀 引 发 混 凝 土 裂 缝 发 生 及 发 展 的 整 个 过 程 。 
 研 究 结 果 表 明 , 从 锈 蚀 开 始 到 轻 微 锈 蚀 阶 段 , 压 电 电 压 信 号 峰 值 升 高 1 3 . 4 % , 首 波 接 收 时 间 缩 短 1 . 2 % ; 从 轻 微 锈 蚀 阶 段 到 加 速 锈 蚀 阶 段 , 直 至 理 论 锈 蚀 率 阶 段 , 受 锈 蚀 裂 缝 影 响 , 压 电 电 压 信 号 峰 值 降 低 , 首 波 接 收 时 间 延 长 , 电 压 变 化 分 别 减 少 6 . 6 % 和 4 8 . 6 % , 首 波 接 收 时 间 分 别 增 加 6 . 0 % 和 2 9 . 8 % 。 
 通 过 验 证 试 验 和 模 型 在 各 阶 段 峰 值 电 压 的 对 比 , 其 差 值 小 于 0 . 3 2 m V , 验 证 了 压 电 波 动 法 监 测 预 应 力 混 凝 土 锈 胀 有 限 元 模 型 的 可 靠 性 。 
 磷 化 镓 晶 体 的 声 光 特 性 及 应 用 吴 畏 ， 郝 建 华 ， 令 狐 梅 傲 ， 朱 吉 ， 周 建 国 ， 高 维 松 ， 谭 江 丽 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 7 7 1 7 7 5 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 2 5 [ 摘 要 ] ( 2 2 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 2 9 M K B ] ( 2 8 ) A b s t r a c t : 磷 化 镓 晶 体 具 有 高 声 光 优 值 、 高 声 速 和 低 声 衰 减 系 数 , 是 制 作 声 光 调 制 器 的 优 良 材 料 之 一 。 
 对 磷 化 镓 晶 体 的 关 键 声 光 参 数 进 行 了 测 试 评 估 , 并 基 于 磷 化 镓 晶 体 研 制 了 光 脉 冲 上 升 时 间 为 6 . 6 n s 的 高 速 光 纤 声 光 调 制 器 , 移 频 频 率 为 1 . 5 G H z 的 高 频 空 间 声 光 调 制 器 , 以 及 3 d B 移 频 带 宽 1 2 5 M H z 的 大 带 宽 光 纤 声 光 调 制 器 。 
 经 验 小 波 变 换 的 激 光 超 声 定 量 识 别 表 面 裂 纹 海 良 豪 ， 赵 纪 元 ， 王 琛 玮 ， 颜 江 涛 ， 郭 淼 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 7 7 6 7 8 6 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 2 6 [ 摘 要 ] ( 1 7 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 8 6 M K B ] ( 2 7 ) A b s t r a c t : 针 对 增 材 制 造 检 测 领 域 中 激 光 超 声 检 测 技 术 定 量 识 别 金 属 增 材 制 件 表 面 裂 纹 时 , 激 光 超 声 信 号 具 有 多 模 态 混 叠 严 重 、 波 形 复 杂 和 信 噪 比 低 等 问 题 , 提 出 了 一 种 经 验 小 波 变 换 分 解 激 光 超 声 信 号 , 并 使 用 表 面 波 的 缺 陷 回 波 波 峰 与 波 谷 差 值 技 术 进 行 金 属 增 材 制 件 表 面 裂 纹 定 量 识 别 。 
 分 析 激 光 超 声 信 号 的 时 频 特 性 , 利 用 经 验 小 波 变 换 自 适 应 分 解 并 提 取 激 光 超 声 信 号 中 的 表 面 波 模 态 。 
 对 原 始 信 号 和 经 验 小 波 变 换 提 取 的 表 面 波 信 号 在 有 无 裂 纹 反 射 回 波 的 时 间 范 围 内 波 峰 与 波 谷 差 值 变 化 进 行 分 析 , 绘 制 原 始 信 号 和 表 面 波 信 号 的 扫 查 位 置 — — — 波 峰 与 波 谷 差 值 图 。 
 经 对 比 发 现 , 后 者 能 更 好 地 确 定 裂 纹 长 度 的 起 始 和 结 束 位 置 , 其 裂 纹 检 测 结 果 的 绝 对 误 差 不 超 过 0 . 4 m m , 相 对 误 差 不 超 过 6 . 0 0 % 。 
 此 方 法 在 激 光 超 声 信 号 的 缺 陷 特 征 提 取 与 定 量 识 别 方 面 有 效 可 行 , 为 复 杂 增 材 制 造 环 境 中 对 金 属 增 材 制 件 表 面 裂 纹 进 行 非 接 触 检 测 提 供 了 有 力 工 具 。 
 基 于 光 纤 法 布 里 珀 罗 干 涉 仪 的 高 灵 敏 微 压 传 感 技 术 研 究 杨 迪 ， 邢 美 华 ， 刘 钦 朋 ， 刘 波 ， 闫 诚 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 7 8 7 7 9 3 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 2 7 [ 摘 要 ] ( 1 8 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 6 . 1 8 M K B ] ( 2 8 ) A b s t r a c t : 光 纤 传 感 器 在 电 池 安 全 监 测 领 域 的 应 用 日 益 增 多 。 
 针 对 储 能 电 池 内 部 气 压 变 化 微 小 难 以 测 量 的 问 题 , 基 于 光 纤 法 布 里 珀 罗 ( F a b r y P é r o t , F P ) 腔 体 端 面 镀 膜 的 结 构 模 型 , 研 讨 了 膜 厚 、 有 效 半 径 和 腔 长 之 间 的 关 系 , 深 入 探 究 了 三 者 之 间 的 相 互 制 约 及 理 论 基 础 , 设 计 了 一 种 小 型 化 、 高 灵 敏 度 和 高 精 度 的 光 纤 微 压 传 感 器 。 
 制 备 了 气 压 灵 敏 度 2 3 9 . 8 3 6 n m / M P a 、 线 性 度 0 . 9 9 8 的 微 压 传 感 器 , 其 在 1 0 0 k P a 压 强 范 围 内 表 现 出 良 好 的 线 性 和 稳 定 性 。 
 该 传 感 器 结 构 紧 凑 、 制 作 简 单 且 成 本 低 , 具 备 较 高 的 灵 敏 度 和 优 异 的 压 强 响 应 特 性 。 
 准 确 检 测 液 位 的 光 纤 B r a g g 光 栅 弹 性 膜 片 传 感 器 杜 锋 ， 姚 建 南 ， 陶 奕 霏 ， 许 愿 ， 丁 超 ， 刘 洋 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 7 9 4 8 0 0 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 2 8 [ 摘 要 ] ( 2 6 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 5 6 M K B ] ( 3 6 ) A b s t r a c t : 为 了 准 确 测 量 液 位 , 研 制 了 一 种 耦 合 光 纤 布 喇 格 光 栅 和 弹 性 膜 片 的 液 位 传 感 器 。 
 该 传 感 器 由 两 个 光 纤 光 栅 ( F B G _ 1 和 F B G _ 2 ) 、 弹 性 膜 片 、 弹 性 橡 胶 密 封 垫 片 、 空 心 管 ( 导 气 管 ) 和 光 纤 光 栅 固 定 装 置 组 成 。 
 光 纤 光 栅 固 定 装 置 材 料 为 聚 甲 基 丙 烯 酸 甲 酯 。 
 F B G _ 1 和 F B G _ 2 固 定 在 弹 性 膜 片 表 面 。 
 F B G _ 1 用 于 监 测 液 位 高 度 和 温 度 。 
 将 F B G _ 2 封 装 在 不 锈 钢 毛 细 管 中 进 行 温 度 检 测 , 消 除 液 相 温 度 变 化 对 液 位 测 量 的 负 面 影 响 。 
 为 了 提 高 传 感 器 检 测 液 位 的 线 性 度 , 实 验 研 究 了 弹 性 膜 片 厚 度 对 液 位 测 量 结 果 的 影 响 , 并 在 此 基 础 上 研 究 了 液 位 变 化 率 和 外 部 振 动 对 液 位 测 量 精 度 的 影 响 。 
 结 果 表 明 , 当 弹 性 膜 片 厚 度 为 2 m m 时 , 传 感 器 检 测 液 位 的 线 性 范 围 为 0 ~ 3 8 0 c m , 灵 敏 度 为 ( 1 9 . 6 5 ± 6 . 3 ) p m / c m 。 
 该 传 感 器 可 在 0 ~ 1 0 0 c m / m i n 液 位 变 化 速 率 和 0 ~ 5 . 2 7 m m / s 外 部 振 动 强 度 范 围 内 准 确 监 测 液 位 , 最 大 检 测 误 差 为 7 . 2 % 。 
 准 分 布 式 F B G 钢 绞 线 传 感 性 能 分 析 与 R P C 梁 变 形 监 测 试 验 研 究 沈 全 喜 ， 曹 阳 ， 熊 城 洋 ， 黄 家 柱 ， 刘 榕 ， 朱 万 旭 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 8 0 1 8 1 2 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 2 9 [ 摘 要 ] ( 2 2 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 7 8 M K B ] ( 2 9 ) A b s t r a c t : 针 对 预 应 力 混 凝 土 结 构 预 应 力 筋 受 力 状 态 的 监 测 难 题 , 提 出 了 凹 槽 预 压 封 装 准 分 布 式 F B G 技 术 , 解 决 了 F B G 存 活 率 低 和 监 测 量 程 不 够 的 技 术 难 题 。 
 通 过 循 环 张 拉 试 验 和 预 应 力 R P C 梁 加 载 试 验 , 探 究 了 准 分 布 式 F B G 钢 绞 线 的 传 感 性 能 及 其 对 混 凝 土 结 构 应 力 状 态 的 监 测 效 果 。 
 结 果 表 明 , F B G 存 活 率 为 1 0 0 % , 应 变 灵 敏 度 为 0 . 0 0 1 1 8 ~ 0 . 0 0 1 2 0 n m / μ ε , 应 变 传 递 率 β ≥ 0 . 9 8 , 线 性 度 ≤ 2 . 0 9 6 % , 回 差 ≤ 1 . 0 4 3 % , 重 复 性 ≤ 3 . 6 1 5 % , 总 不 确 定 度 ≤ 3 . 8 8 1 % 。 
 准 分 布 式 F B G 钢 绞 线 可 准 确 识 别 R P C 梁 的 损 伤 过 程 , 4 5 % f p t k 、 6 5 % f p t k 、 7 5 % f p t k ( f p t k 为 钢 绞 线 极 限 强 度 ) 预 应 力 R P C 梁 的 开 裂 荷 载 分 别 为 1 0 0 k N 、 1 3 0 k N 、 1 4 0 k N , 纵 筋 屈 服 荷 载 分 别 为 2 6 0 k N 、 2 8 0 k N 、 3 0 0 k N 。 
 R P C 梁 挠 度 和 钢 绞 线 应 变 为 抛 物 线 型 分 布 , 最 大 挠 度 分 别 为 2 7 . 6 9 1 m m 、 2 0 . 1 5 3 m m 、 1 4 . 6 0 2 m m , 最 大 应 变 分 别 为 4 1 6 3 . 0 2 5 μ ε 、 3 7 1 5 . 1 2 6 μ ε 、 1 6 5 8 . 4 8 7 μ ε 。 
 准 分 布 式 F B G 为 预 应 力 结 构 的 整 体 监 测 提 供 了 思 路 。 
 基 于 P Z T 的 8 + 8 超 声 传 感 器 阵 列 寻 址 接 收 策 略 及 电 路 系 统 设 计 宋 寿 鹏 ， 邵 文 津 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 8 1 3 8 2 1 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 3 0 [ 摘 要 ] ( 2 1 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 5 . 2 2 M K B ] ( 3 2 ) A b s t r a c t : 超 声 传 感 器 阵 列 寻 址 接 收 方 法 不 同 于 传 统 的 超 声 阵 列 接 收 机 制 , 它 可 以 灵 活 地 选 择 阵 列 中 接 收 阵 元 数 量 及 分 布 范 围 , 在 简 化 电 路 规 模 的 同 时 , 可 以 实 现 阵 列 的 变 孔 径 接 收 。 
 提 出 了 一 种 基 于 P Z T 的 8 + 8 ( 6 4 阵 元 ) 规 模 寻 址 激 励 超 声 阵 列 接 收 策 略 , 设 计 了 基 于 微 处 理 器 和 P M O S 电 子 开 关 控 制 的 寻 址 接 收 电 路 , 实 际 测 试 并 分 析 了 寻 址 接 收 模 式 下 超 声 阵 列 的 电 气 特 性 。 
 采 用 单 阵 元 、 整 行 阵 元 、 整 列 阵 元 及 全 部 阵 元 接 收 孔 径 4 种 寻 址 接 收 模 式 , 测 试 了 铝 和 钢 材 试 块 底 面 回 波 信 号 , 得 到 不 同 接 收 模 式 下 回 波 信 噪 比 的 变 化 规 律 及 特 性 。 
 指 数 形 变 幅 杆 弯 曲 振 动 的 理 论 研 究 付 志 强 ， 王 瀚 略 ， 穆 子 毅 ， 陈 东 民 ， 肖 杨 ， 刘 星 豪 2 0 2 4 , 4 6 ( 5 ) : 8 2 2 8 2 6 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 5 . 0 3 1 [ 摘 要 ] ( 3 3 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 2 8 M K B ] ( 3 3 ) A b s t r a c t : 提 出 了 两 端 自 由 状 态 下 指 数 形 变 幅 杆 弯 曲 振 动 谐 振 频 率 计 算 的 一 种 近 似 方 法 。 
 将 指 数 形 变 幅 杆 等 效 为 圆 柱 形 杆 , 分 别 采 用 E u l e r B e r n o u l l i 理 论 和 T i m o s h e n k o 理 论 获 得 弯 曲 振 动 的 频 率 方 程 , 再 利 用 p y t h o n 编 程 计 算 两 种 理 论 下 弯 曲 振 动 的 前 3 阶 谐 振 频 率 , 并 与 有 限 元 仿 真 值 作 对 比 。 
 结 果 表 明 , 在 两 端 半 径 相 差 较 小 的 情 况 下 , 基 于 T i m o s h e n k o 理 论 的 近 似 方 法 适 用 于 指 数 形 变 幅 杆 弯 曲 振 动 谐 振 频 率 的 计 算 。 
 文 章 快 速 检 索 全 选 反 选 导 出 “ 已 录 用 ” 栏 目 展 示 本 刊 经 同 行 评 议 确 定 正 式 录 用 的 文 章 ， 这 些 文 章 目 前 处 在 编 校 过 程 ， 尚 未 确 定 卷 期 及 页 码 ， 但 可 以 根 据 D O I 进 行 引 用 。 
 出 版 专 辑 更 多 + 虚 拟 专 刊 M o r e 文 章 快 速 检 索 全 选 反 选 导 出 压 电 超 声 换 能 器 阻 抗 特 性 分 析 与 匹 配 设 计 王 玉 江 2 , 王 志 斌 1 , 2 , 3 , 宋 雁 鹏 2 , 解 琨 阳 2 , 赵 同 林 2 2 0 1 6 , 3 8 ( 4 ) : 6 3 3 6 3 8 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 1 6 . 0 4 . 0 2 8 [ 摘 要 ： ] ( 2 8 5 2 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 7 8 M K B ] ( 5 6 8 8 ) A b s t r a c t : 压 电 超 声 换 能 器 在 不 同 的 工 作 频 率 下 具 有 不 同 的 输 入 阻 抗 ， 当 驱 动 信 号 源 输 出 阻 抗 与 换 能 器 输 入 阻 抗 失 配 时 会 产 生 能 量 损 耗 ， 导 致 无 法 满 足 换 能 器 的 功 率 要 求 ， 从 而 使 其 光 谱 衍 射 效 率 降 低 ， 影 响 光 谱 成 像 质 量 。 
 为 此 对 换 能 器 阻 抗 频 率 特 性 的 深 入 研 究 ， 设 计 了 一 种 新 型 宽 带 阻 抗 匹 配 网 络 。 
 通 过 A D S 仿 真 及 匹 配 电 路 的 测 试 ， 最 终 在 1 1 5 ～ 1 8 0 M H z 超 声 波 频 率 内 可 使 换 能 器 的 光 谱 衍 射 效 率 最 高 达 7 0 ％ 。 
 基 于 C O M S O L M u l t i p h y s i c s 超 声 波 电 机 的 谐 振 特 性 分 析 吕 琼 莹 , 杨 艳 , 焦 海 坤 , 张 志 杰 2 0 1 2 , 3 4 ( 6 ) : 8 6 4 8 6 7 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 1 2 . 0 6 . 0 1 5 [ 摘 要 ： ] ( 3 2 8 4 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 6 0 M K B ] ( 5 2 1 6 ) A b s t r a c t : 基 于 C O M S O L M u l t i p h y s i c s 对 超 声 波 电 机 压 电 振 子 谐 振 特 性 进 行 了 理 论 分 析 ， 建 立 了 超 声 波 电 机 压 电 振 子 的 实 体 模 型 ， 仿 真 计 算 出 了 压 电 振 子 的 谐 振 频 率 ， 确 定 超 声 波 电 动 机 的 最 佳 工 作 频 段 ， 提 出 了 电 机 与 驱 动 电 路 匹 配 方 法 。 
 试 验 结 果 表 明 ： 当 对 压 电 振 子 施 加 幅 值 为 1 0 0 V 的 激 励 电 压 后 ， 软 件 分 析 和 数 学 计 算 基 本 一 致 ， 可 见 仿 真 分 析 方 法 的 可 行 性 ， 为 研 究 超 声 波 电 机 谐 振 特 性 提 供 了 一 种 简 便 的 计 算 方 法 。 
 高 频 医 用 超 声 换 能 器 材 料 声 匹 配 特 性 研 究 刘 鹏 波 1 , 2 , 3 , 简 小 华 1 , 韩 志 乐 1 , 李 章 剑 1 , 崔 崤 峣 1 2 0 1 6 , 3 8 ( 3 ) : 4 5 0 4 5 3 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 1 6 . 0 3 . 0 2 6 [ 摘 要 ： ] ( 2 1 4 8 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 6 7 M K B ] ( 5 0 4 1 ) A b s t r a c t : 医 学 超 声 成 像 的 图 像 质 量 很 大 程 度 取 决 于 超 声 换 能 器 的 特 性 。 
 在 换 能 器 研 制 过 程 中 ， 一 项 重 要 的 任 务 是 确 定 合 适 的 匹 配 层 材 料 及 参 数 。 
 为 了 满 足 高 频 超 声 换 能 器 研 制 的 需 要 ， 该 文 从 理 论 及 实 验 两 方 面 研 究 了 R T V 6 1 5 硅 橡 胶 掺 杂 不 同 比 例 的 氧 化 铝 粉 末 后 ， 所 形 成 的 复 合 材 料 的 高 频 ( 2 0 M H z ) 声 学 特 性 参 数 ， 包 括 声 速 、 声 阻 抗 、 声 衰 减 系 数 等 。 
 结 果 表 明 ， R T V 6 1 5 硅 橡 胶 中 掺 杂 氧 化 铝 的 体 积 分 数 为 7 . 9 3 % 时 ， 所 形 成 的 复 合 材 料 在  2 0 M H z  频 率 条 件 下 声 阻 抗 值 提 高 5 2 . 9 4 % ， 达 到 1 . 5 6 × 1 0   6  P a · s / m ， 具 有 最 佳 的 声 阻 抗 匹 配 特 性 。 
 因 此 ， 通 过 优 化 掺 杂 比 例 可 有 效 改 进 硅 橡 胶 材 料 的 高 频 声 学 性 能 。 
 C 波 段 横 向 激 励 薄 膜 体 声 波 谐 振 器 设 计 与 制 备 吴 高 米 ， 马 晋 毅 ， 李 尚 志 ， 司 美 菊 ， 唐 小 龙 ， 蒋 世 义 ， 江 洪 敏 ， 张 祖 伟 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 2 8 5 2 8 9 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 1 [ 摘 要 ： ] ( 2 6 6 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 7 4 M K B ] ( 4 7 7 7 ) A b s t r a c t : 针 对 未 来 移 动 通 信 对 射 频 前 端 器 件 提 出 的 多 频 率 、 高 集 成 新 要 求 , 开 展 了 兼 具 声 表 面 波 ( S A W ) 谐 振 器 和 薄 膜 体 声 波 谐 振 器 ( F B A R ) 技 术 特 点 的 新 型 横 向 激 励 兰 姆 波 谐 振 器 研 究 。 
 该 文 介 绍 了 基 于 c 轴 择 优 取 向 氮 化 铝 ( A l N ) 压 电 薄 膜 的 C 波 段 横 向 激 励 薄 膜 体 声 波 谐 振 器 ( X B A R ) 的 结 构 设 计 、 参 数 优 化 和 制 备 方 法 , 并 进 行 了 工 艺 验 证 。 
 通 过 剥 离 和 刻 蚀 等 步 骤 制 备 了 谐 振 频 率 4 . 4 6 4 G H z 、 品 质 因 数 3 0 3 9 、 品 质 因 数 与 频 率 之 积 ( f × Q ) 达 到 1 . 5 6 × 1 0 1 3 G H z 、 面 积 小 于 0 . 1 2 m m 2 的 低 杂 波 X B A R 谐 振 器 , 并 仿 真 分 析 了 其 用 于 射 频 滤 波 器 的 可 行 性 。 
 该 研 究 为 进 一 步 研 制 多 频 率 、 高 集 成 的 小 型 化 X B A R 滤 波 器 组 件 提 供 了 有 效 的 设 计 技 术 和 工 艺 技 术 支 撑 。 
 压 电 微 机 械 超 声 换 能 器 仿 真 与 结 构 优 化 余 卿 ， 遆 金 铭 ， 樊 青 青 ， 李 俊 红 2 0 2 2 , 4 4 ( 3 ) : 4 0 3 4 0 6 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 2 . 0 3 . 0 1 4 [ 摘 要 ： ] ( 6 1 9 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 2 4 M K B ] ( 4 7 6 1 ) A b s t r a c t : 压 电 微 机 械 超 声 换 能 器 ( P M U T ) 在 医 疗 阵 列 成 像 、 手 势 识 别 、 内 窥 成 像 、 指 纹 识 别 等 领 域 有 着 重 要 的 应 用 , 而 灵 敏 度 等 性 能 是 影 响 其 成 像 质 量 的 主 要 因 素 。 
 该 文 对 基 于 P M N P T 圆 形 压 电 复 合 振 动 膜 的 压 电 微 机 械 超 声 换 能 器 等 效 电 路 模 型 进 行 分 析 , 并 通 过 有 限 元 法 研 究 了 压 电 层 P M N P T 厚 度 对 P M U T 的 发 射 电 压 响 应 、 接 收 灵 敏 度 的 影 响 。 
 仿 真 结 果 表 明 , 当 压 电 层 厚 度 为 4 . 5 μ m ( 厚 度 为 基 底 厚 度 的 9 0 % ) 时 , 换 能 器 的 发 射 电 压 响 应 级 最 大 , 达 到 1 9 1 . 6 d B , 接 收 灵 敏 度 级 随 厚 度 的 增 加 基 本 呈 线 性 上 升 趋 势 ; 当 压 电 层 厚 度 为 5 . 1 μ m ( 厚 度 为 基 底 厚 度 的 1 0 2 % ) 时 , 回 路 增 益 ( 损 耗 ) 最 大 , 达 到 6 4 . 5 0 d B 。 
 基 于 X L i N b O 3 / S i O 2 / S i 低 温 漂 、 大 机 电 耦 合 S H S A W 谐 振 器 的 设 计 温 福 军 ， 王 园 园 ， 钱 莉 荣 ， 王 荔 田 ， 李 翠 平 ， 熊 阳 ， 田 亚 会 ， 李 红 浪 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 2 9 0 2 9 5 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 2 [ 摘 要 ： ] ( 1 9 2 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 9 9 M K B ] ( 4 7 3 4 ) A b s t r a c t : 铌 酸 锂 ( L N ) 单 晶 薄 膜 具 有 较 高 的 机 电 耦 合 系 数 ( k 2 e f f ＞ 3 0 % ) , 其 水 平 剪 切 ( S H ) 声 学 模 式 常 被 应 用 于 开 发 具 有 大 机 电 耦 合 系 数 的 薄 膜 声 学 谐 振 器 和 超 宽 带 滤 波 器 。 
 但 L N 的 频 率 温 度 系 数 较 大 ( T C F ＞ 5 0 × 1 0 6 / ℃ ) , 这 不 仅 会 降 低 滤 波 器 的 可 用 有 效 带 宽 , 同 时 也 会 限 制 器 件 的 功 率 处 理 能 力 。 
 采 用 3 D 周 期 有 限 元 模 型 对 基 于 X 切 L N / S i O 2 / S i 结 构 S H 声 表 面 波 ( S H S A W ) 谐 振 器 进 行 了 优 化 研 究 。 
 研 究 结 果 表 明 , 当 S H S A W 传 播 角 ψ = 1 0 ° ~ 2 0 ° 、 L N 和 S i O 2 膜 厚 分 别 为 h L N = 0 . 1 λ 和 h S i O 2 = 0 . 2 λ ( λ 为 叉 指 换 能 器 周 期 ) 、 铝 电 极 金 属 化 率 η = 0 . 4 、 电 极 相 对 厚 度 h A l / λ = 5 % ~ 1 0 % 时 , S H S A W 谐 振 器 的 k 2 e f f 约 为 3 0 % , 且 其 T C F ＜ 2 0 × 1 0 6 / ℃ , 有 望 用 于 开 发 新 一 代 的 低 温 漂 、 超 宽 带 5 G S A W 滤 波 器 。 
 兰 姆 波 型 谐 振 器 的 制 备 与 测 试 邓 言 文 , 彭 斌 , 张 万 里 , 陈 鹏 , 王 睿 , 姜 建 英 2 0 1 6 , 3 8 ( 3 ) : 4 0 1 4 0 4 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 1 6 . 0 3 . 0 1 3 [ 摘 要 ： ] ( 2 3 4 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 7 4 M K B ] ( 4 7 0 1 ) A b s t r a c t : 采 用 磁 控 溅 射 、 光 刻 、 腐 蚀 、 电 子 束 蒸 发 等 工 艺 ， 在 A l N 薄 膜 表 面 设 计 和 制 备 了 兰 姆 波 ( L a m b ) 型 谐 振 器 。 
 研 究 了 L a m b 谐 振 器 频 率 特 性 与 频 率 温 度 特 性 ， 并 与 传 统 的 瑞 利 波 ( R a y l e i g h ) 型 谐 振 器 进 行 对 比 。 
 测 试 结 果 表 明 ， R a y l e i g h 谐 振 器 的 谐 振 频 率 为 3 0 5 . 1 5 M H z ， 温 度 灵 敏 度 为 1 0 . 7 4 k H z / ℃ ； 而 L a m b 谐 振 器 有 7 个 谐 振 频 率 ， 分 别 为 2 9 4 . 6 3 0 M H z ， 3 9 8 . 1 2 5 M H z ， 4 3 5 . 6 2 5 M H z ， 4 8 2 M H z ， 5 3 1 . 6 2 5 M H z ， 5 7 0 M H z 和 6 1 3 . 6 2 5 M H z ， 其 温 度 灵 敏 度 分 别 为 1 0 . 6 3 k H z / ℃ ， 1 3 . 4 6 k H z / ℃ ， 1 6 . 0 9 k H z / ℃ ， 1 7 . 5 1 k H z / ℃ ， 1 8 . 9 5 k H z / ℃ ， 2 0 . 7 6 k H z / ℃ 和 2 1 . 8 6 k H z / ℃ 。 
 结 果 表 明 ， 兰 姆 波 型 谐 振 器 高 阶 模 式 的 温 度 灵 敏 度 最 高 ， 达 到 2 1 . 8 6 k H z / ℃ 。 
 一 种 6 信 道 声 光 调 制 器 杨 涛 ， 周 建 国 ， 艾 毅 智 ， 刘 保 见 ， 吴 畏 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 4 3 3 4 6 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 1 2 [ 摘 要 ： ] ( 1 0 8 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 8 8 5 . 1 4 K K B ] ( 4 6 7 3 ) A b s t r a c t : 介 绍 了 一 种 6 信 道 声 光 调 制 器 。 
 通 过 在 换 能 器 上 制 备 电 极 阵 列 , 设 计 独 立 的 阻 抗 匹 配 电 路 和 电 输 入 端 口 , 将 6 个 声 光 互 作 用 单 元 集 成 在 一 起 , 实 现 了 对 6 束 激 光 的 并 行 、 独 立 调 制 。 
 经 测 试 , 该 6 信 道 声 光 调 制 器 工 作 波 长 为 3 5 5 n m , 工 作 频 率 为 2 2 0 M H z , 单 信 道 衍 射 效 率 ＞ 7 5 % , 全 局 串 扰 ＜ 0 . 5 % 。 
 声 表 面 波 滤 波 器 温 度 敏 感 性 仿 真 研 究 王 吉 芳 ， 郑 露 ， 陈 平 静 ， 潘 虹 芝 ， 杜 雪 松 ， 董 加 和 ， 陆 川 ， 陈 正 林 ， 吴 浩 东 ， 马 晋 毅 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 1 0 3 1 4 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 6 [ 摘 要 ： ] ( 1 9 9 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 2 4 M K B ] ( 4 6 6 9 ) A b s t r a c t : 针 对 不 同 温 度 场 情 况 下 任 意 复 杂 膜 系 结 构 和 电 路 拓 扑 结 构 的 声 表 面 波 ( S A W ) 滤 波 器 的 温 度 敏 感 性 精 确 计 算 问 题 , 首 先 将 温 度 场 以 热 应 力 、 热 应 变 的 方 式 耦 合 声 / 电 本 征 方 程 并 考 虑 封 装 模 型 的 电 磁 因 素 , 再 结 合 分 层 级 联 算 法 和 全 波 仿 真 技 术 , 计 算 任 意 复 杂 膜 系 结 构 和 电 路 拓 扑 结 构 的 S A W 滤 波 器 的 温 度 敏 感 性 , 实 现 不 同 温 度 作 用 下 S A W 滤 波 器 频 率 响 应 曲 线 、 频 率 温 度 系 数 ( T C F ) 值 、 损 耗 、 带 宽 及 带 外 抑 制 等 性 能 的 综 合 分 析 。 
 通 过 4 1 ° Y X L i N b O 3 / S i O 2 / S i _ p o l y / S i ( 1 1 1 ) 复 合 衬 底 S A W 滤 波 器 的 优 化 设 计 与 研 制 , 其 设 计 优 化 结 果 与 实 验 结 果 吻 合 较 好 , 验 证 了 该 方 法 的 有 效 性 和 可 行 性 。 
 金 锡 键 合 在 薄 膜 体 声 波 滤 波 器 晶 圆 级 封 装 中 的 研 究 金 中 ， 张 基 钦 ， 吕 峻 豪 ， 阮 文 彪 ， 刘 娅 ， 甑 静 怡 ， 孙 明 宝 ， 孙 彦 红 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 3 9 3 4 2 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 1 1 [ 摘 要 ： ] ( 1 3 5 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 1 2 M K B ] ( 4 6 6 9 ) A b s t r a c t : 薄 膜 体 声 波 滤 波 器 ( F B A R ) 作 为 一 种 无 源 、 体 积 小 和 耐 功 率 高 的 器 件 , 被 广 泛 应 用 于 射 频 信 号 处 理 中 。 
 晶 圆 级 气 密 封 装 作 为 小 型 化 封 装 的 代 表 , 在 各 种 高 可 靠 性 应 用 场 景 中 占 据 重 要 地 位 。 
 金 金 键 合 和 金 锡 键 合 被 广 泛 应 用 于 薄 膜 体 声 波 滤 波 器 的 气 密 性 晶 圆 级 封 装 中 , 但 金 锡 键 合 在 工 艺 上 更 易 实 现 。 
 该 文 针 对 金 锡 键 合 在 气 密 性 晶 圆 级 封 装 中 的 应 用 进 行 了 研 究 , 在 保 证 键 合 强 度 的 情 况 下 制 作 了 3 G H z 滤 波 器 样 品 , 其 性 能 测 试 一 致 性 良 好 , 可 靠 性 达 到 要 求 。 
 低 插 损 窄 带 T C S A W 滤 波 器 的 设 计 与 研 制 黄 亮 ， 周 亚 男 ， 王 志 超 ， 何 朝 峰 ， 朱 卫 俊 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 0 0 3 0 5 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 4 [ 摘 要 ： ] ( 1 9 1 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 7 6 M K B ] ( 4 6 6 0 ) A b s t r a c t : 为 了 减 小 窄 带 滤 波 器 的 插 入 损 耗 , 在 梯 形 拓 扑 的 基 础 上 引 入 并 联 电 容 , 提 出 了 一 种 并 联 电 容 型 梯 形 拓 扑 。 
 利 用 并 联 电 容 大 幅 度 改 变 反 谐 振 点 频 率 的 特 点 , 以 牺 牲 较 小 插 入 损 耗 的 代 价 来 缩 小 带 宽 。 
 通 过 谐 振 器 设 计 与 进 化 算 法 寻 优 , 成 功 研 制 出 一 款 基 于 S i O 2 / C u / 1 2 7 ° Y X L i N b O 3 结 构 的 低 插 损 窄 带 温 补 型 声 表 面 波 ( T C S A W ) 滤 波 器 。 
 实 验 结 果 表 明 , 滤 波 器 的 中 心 频 率 为 1 5 1 4 M H z , 相 对 带 宽 为 0 . 4 6 % , 带 内 插 入 损 耗 仅 1 . 4 5 d B , 过 渡 带 2 0 M H z 带 外 抑 制 滚 降 到 2 4 d B , 远 带 带 外 抑 制 大 于 3 0 d B , W i F i 频 段 抑 制 高 达 4 8 d B , 频 率 温 度 系 数 T C F 为 2 0 × 1 0 6 / ℃ , 器 件 尺 寸 为 1 . 1 m m × 0 . 9 m m 。 
 背 腔 刻 蚀 型 横 向 激 励 薄 膜 体 声 波 谐 振 器 制 备 技 术 研 究 徐 阳 ， 司 美 菊 ， 吴 高 米 ， 刘 文 怡 ， 巩 乐 乐 ， 甄 静 怡 ， 余 奇 ， 陈 金 琳 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 2 9 6 2 9 9 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 3 [ 摘 要 ： ] ( 1 5 4 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 7 3 M K B ] ( 4 6 5 9 ) A b s t r a c t : 随 着 移 动 通 信 技 术 的 快 速 发 展 , 薄 膜 体 声 波 滤 波 器 逐 渐 向 高 频 和 大 带 宽 方 向 发 展 。 
 该 文 研 究 了 P O I ( L i N b O 3 / S i O 2 / S i ) 基 片 上 背 腔 刻 蚀 型 横 向 激 励 薄 膜 体 声 波 谐 振 器 制 作 工 艺 , 通 过 研 究 P O I 基 I D T 光 刻 、 背 腔 硅 刻 蚀 等 工 艺 , 确 定 了 I D T 层 曝 光 量 和 背 腔 刻 蚀 等 关 键 工 艺 参 数 。 
 研 制 出 的 背 腔 刻 蚀 型 横 向 激 励 薄 膜 体 声 波 谐 振 器 , 其 谐 振 频 率 为 4 5 6 5 M H z , 反 谐 振 频 率 为 5 0 3 5 M H z , 机 电 耦 合 系 数 为 2 0 . 8 6 % 。 
 此 制 备 工 艺 对 研 究 高 频 、 大 带 宽 薄 膜 体 声 波 滤 波 器 具 有 重 要 的 参 考 意 义 。 
 一 种 横 向 耦 合 改 进 型 结 构 极 窄 带 声 表 面 波 滤 波 器 研 究 张 显 洪 ， 杨 卫 东 ， 肖 强 ， 蒋 道 军 ， 张 晟 ， 施 建 峰 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 0 6 3 0 9 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 5 [ 摘 要 ： ] ( 1 5 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 5 7 M K B ] ( 4 6 5 2 ) A b s t r a c t : 该 文 采 用 波 导 法 分 析 了 横 向 耦 合 极 窄 带 声 表 面 波 滤 波 器 速 度 变 化 模 式 , 并 用 多 物 理 场 C O M S O L 软 件 对 横 向 耦 合 声 表 面 波 滤 波 器 的 中 心 耦 合 条 结 构 和 耦 合 距 离 的 变 化 建 模 进 行 计 算 , 并 分 析 频 响 特 性 。 
 采 用 石 英 晶 体 作 为 底 衬 , 设 计 了 频 率 为 8 9 8 . 1 4 4 M H z , 插 入 损 耗 约 为 6 d B 的 极 窄 带 声 表 面 波 滤 波 器 并 进 行 验 证 。 
 结 果 表 明 , 中 心 耦 合 条 开 腔 结 构 的 声 表 面 波 滤 波 器 的 相 对 带 宽 达 到 7 . 2 ‰ , 与 不 开 腔 结 构 5 . 2 ‰ 相 对 带 宽 相 比 , 提 升 了 2 ‰ 。 
 这 说 明 横 向 耦 合 声 表 面 波 滤 波 器 的 中 心 耦 合 条 结 构 变 化 , 能 改 变 极 窄 带 声 表 面 波 滤 波 器 的 相 对 带 宽 。 
 基 于 I D T / Z n O / A l N / D i a m o n d 结 构 的 混 合 S A W / B A W 压 力 敏 感 元 件 特 性 研 究 武 庆 鹏 ， 王 地 懋 ， 曾 龙 ， 王 艳 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 2 2 3 2 7 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 8 [ 摘 要 ： ] ( 1 3 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 6 0 M K B ] ( 4 6 3 1 ) A b s t r a c t : 利 用 有 限 元 方 法 分 析 了 基 于 I D T / Z n O / A l N / D i a m o n d 不 同 结 构 混 合 S A W / B A W 器 件 的 声 学 特 性 , 包 括 层 状 薄 膜 结 构 、 Z n O 薄 膜 刻 蚀 结 构 和 填 充 结 构 。 
 结 果 表 明 , 当 h Z n O / λ = 0 . 3 、 h A l N / λ = 0 . 5 , 且 Z n O 被 完 全 刻 蚀 ( d / h Z n O = 1 ) 时 , 刻 蚀 结 构 混 合 S A W / B A W ( 准 西 沙 瓦 波 ) 的 机 电 耦 合 系 数 ( K 2 ) 取 得 最 大 值 6 . 5 4 % , 比 层 状 结 构 ( d / h Z n O = 0 ) 提 升 了 近 一 倍 。 
 刻 蚀 结 构 中 , S i O 2 和 D i a m o n d 填 充 物 的 引 入 不 仅 提 高 了 准 西 沙 瓦 波 的 K 2 , 而 且 改 善 了 其 压 力 传 感 特 性 。 
 当 d / h Z n O = 1 时 , S i O 2 和 D i a m o n d 填 充 结 构 准 西 沙 瓦 波 的 压 力 频 移 分 别 为 8 1 . 2 k H z / M P a 和 2 0 7 . 4 k H z / M P a , 比 刻 蚀 结 构 分 别 提 高 了 5 8 . 7 % 和 3 0 0 % ; 同 时 , D i a m o n d 填 充 物 的 引 入 使 准 西 沙 瓦 波 的 频 率 压 力 系 数 ( P C F ) 达 到 最 大 值 2 9 7 × 1 0 6 / M P a , 比 d / h Z n O = 0 时 提 高 了 约 3 0 % 。 
 由 此 可 知 , 通 过 引 入 不 同 的 填 充 物 可 以 开 发 不 同 的 功 能 传 感 器 , 在 压 力 、 温 度 和 气 敏 等 传 感 领 域 将 具 有 极 大 的 应 用 前 景 。 
 四 方 相 锆 钛 酸 铅 陶 瓷 制 备 及 温 度 稳 定 性 研 究 杨 洋 ， 侯 育 冬 ， 杜 红 亮 ， 张 阿 梅 ， 侯 鸿 平 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 5 1 3 5 5 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 1 4 [ 摘 要 ： ] ( 1 3 5 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 3 8 M K B ] ( 4 6 2 9 ) A b s t r a c t : 采 用 传 统 固 相 法 制 备 了 P b ( Z r 1 x T i x ) O 3 陶 瓷 , 通 过 调 节 锆 钛 摩 尔 比 将 其 定 位 于 四 方 区 域 以 改 善 温 度 稳 定 性 , 并 通 过 优 化 烧 结 温 度 改 善 电 学 性 能 。 
 实 验 结 果 表 明 , 当 x = 0 . 5 2 时 , 体 系 处 于 四 方 区 域 , 此 时 陶 瓷 的 温 度 稳 定 性 有 所 提 升 , 在 室 温 ~ 3 0 0 ℃ 时 , d 3 3 变 化 率 为 ± 1 4 . 7 % 。 
 在 1 2 5 0 ℃ 下 烧 结 的 P b ( Z r 0 . 4 8 T i 0 . 5 2 ) O 3 陶 瓷 具 有 最 佳 的 电 学 性 能 : 压 电 常 数 d 3 3 = 1 8 3 p C / N , 居 里 温 度 T C = 4 0 2 ℃ , 相 对 介 电 常 数 ε r = 1 2 0 9 。 
 石 英 湿 法 腐 蚀 及 谐 振 器 制 作 工 艺 研 究 龙 雪 松 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 2 8 3 3 2 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 9 [ 摘 要 ： ] ( 1 2 9 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 1 6 M K B ] ( 4 6 2 5 ) A b s t r a c t : 随 着 石 英 谐 振 器 向 小 型 化 、 高 频 化 发 展 , 其 尺 寸 越 来 越 小 , 因 此 , 低 成 本 的 谐 振 器 精 准 制 造 工 艺 尤 为 重 要 。 
 该 文 对 石 英 晶 片 进 行 腐 蚀 实 验 以 确 定 精 准 制 造 矩 形 谐 振 器 的 最 佳 工 艺 条 件 , 研 究 了 温 度 对 金 属 保 护 层 完 整 性 的 影 响 , 以 及 腐 蚀 时 间 对 石 英 表 面 粗 糙 度 的 影 响 。 
 腐 蚀 速 率 稳 定 且 适 中 , 有 利 于 谐 振 器 的 精 准 制 造 。 
 设 计 了 石 英 谐 振 器 工 艺 流 程 , 得 到 质 量 较 好 的 超 薄 矩 形 A T 切 高 频 石 英 谐 振 器 。 
 分 析 其 尺 寸 误 差 产 生 的 原 因 , 并 总 结 了 一 套 精 度 较 好 的 湿 法 腐 蚀 工 艺 , 有 望 采 用 低 成 本 手 段 使 矩 形 谐 振 器 的 厚 度 小 于 1 0 μ m 。 
 J G D 提 拉 单 晶 炉 晶 体 模 型 的 数 字 化 陈 川 贵 ， 丁 雨 憧 ， 龙 勇 ， 何 晔 ， 吴 昊 ， 岑 伟 ， 李 青 蔚 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 3 3 3 3 8 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 1 0 [ 摘 要 ： ] ( 1 3 2 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 4 . 1 7 M K B ] ( 4 6 0 0 ) A b s t r a c t : 中 国 电 科 芯 片 研 究 院 生 产 的 J G D 提 拉 单 晶 炉 是 一 种 上 称 重 自 动 直 径 控 制 激 光 单 晶 炉 , 它 实 现 了 提 拉 法 晶 体 全 自 动 智 能 生 长 控 制 。 
 利 用 J G D 提 拉 单 晶 炉 控 制 软 件 建 立 提 拉 法 晶 体 数 学 模 型 , 晶 体 生 长 全 程 以 数 学 模 型 为 标 准 , 以 晶 体 质 量 为 控 制 量 进 行 实 时 闭 环 反 馈 控 制 。 
 该 软 件 建 立 的 晶 体 数 学 模 型 有 四 段 式 晶 体 数 学 模 型 和 任 意 多 段 晶 体 数 学 模 型 两 种 形 式 。 
 在 设 计 放 肩 段 时 , 四 段 式 晶 体 数 学 模 型 充 分 体 现 了 晶 体 籽 晶 段 与 放 肩 段 、 等 径 段 三 位 一 体 平 滑 过 渡 的 理 念 ; 而 任 意 多 段 晶 体 数 学 模 型 在 曲 线 设 计 上 更 加 灵 活 多 样 , 晶 体 数 学 模 型 设 计 更 便 捷 。 
 J G D 提 拉 单 晶 炉 控 制 软 件 晶 体 数 学 模 型 被 广 泛 用 于 多 种 晶 体 生 长 过 程 , 如 I n S b 、 Y A G 等 晶 体 。 
 晶 体 外 形 控 制 良 好 、 品 质 优 良 。 
 基 于 多 模 态 扩 频 理 论 的 压 电 振 动 能 量 采 集 系 统 李 治 宏 ， 张 佳 佳 ， 张 金 雨 ， 王 佳 ， 马 云 宾 ， 牟 笑 静 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 6 2 3 6 6 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 1 6 [ 摘 要 ： ] ( 1 1 3 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 9 6 M K B ] ( 4 5 9 8 ) A b s t r a c t : 以 同 时 提 升 多 模 态 采 集 和 增 加 带 宽 为 研 究 方 向 , 结 合 多 模 态 扩 频 理 论 , 建 立 了 一 套 多 模 态 宽 频 且 能 多 方 向 工 作 的 压 电 振 动 能 量 采 集 系 统 。 
 该 系 统 包 含 能 量 采 集 器 和 电 源 管 理 电 路 两 个 模 块 。 
 其 中 , 采 集 器 包 括 4 种 谐 振 频 率 , 组 成 了 较 宽 的 工 作 频 带 , 保 证 了 该 采 集 器 在 低 频 振 动 工 作 环 境 下 高 效 率 地 收 集 振 动 能 量 ; 电 源 管 理 电 路 将 采 集 到 的 交 流 电 转 换 为 稳 定 的 直 流 电 , 再 对 电 容 或 电 池 等 储 能 元 件 充 电 以 供 微 电 子 器 件 使 用 。 
 经 过 模 态 和 谐 响 应 分 析 后 , 搭 建 了 实 验 平 台 并 对 采 集 系 统 进 行 实 验 测 试 。 
 实 验 结 果 表 明 , 在 加 速 度 6 m / s 2 简 谐 力 激 励 下 , 工 作 频 带 为 1 6 . 1 ~ 2 7 . 8 H z , 输 出 电 压 最 高 可 达 3 5 . 7 5 V , 阻 抗 匹 配 后 最 优 阻 值 为 2 0 0 k Ω , 此 时 输 出 功 率 为 1 1 5 . 8 5 μ W 。 
 超 宽 带 单 陷 波 四 元 M I M O 天 线 的 设 计 张 玲 ， 杜 成 珠 ， 胡 鹏 ， 杨 福 慧 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 9 2 3 9 8 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 2 1 [ 摘 要 ： ] ( 1 0 5 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 5 . 9 6 M K B ] ( 4 5 9 8 ) A b s t r a c t : 该 文 设 计 了 一 款 具 有 单 陷 波 特 性 的 高 隔 离 超 宽 带 ( U W B ) 四 单 元 多 输 入 多 输 出 ( M I M O ) 天 线 。 
 天 线 的 尺 寸 为 6 5 m m × 6 5 m m × 0 . 8 m m 。 
 4 个 槽 天 线 单 元 水 平 正 交 放 置 , 采 用 易 加 工 集 成 的 共 面 波 导 ( C P W ) 馈 电 , 引 入 缺 陷 地 及 十 字 隔 离 枝 节 去 耦 。 
 通 过 在 天 线 辐 射 贴 片 上 刻 蚀 一 个 U 形 槽 , 在 4 . 3 5 ~ 6 . 0 8 G H z 处 产 生 陷 波 , 能 阻 止 W L A N ( 5 . 1 5 ~ 5 . 8 2 5 G H z ) 的 通 信 干 扰 。 
 经 实 测 , 该 天 线 的 工 作 频 段 为 2 . 4 6 ~ 1 0 . 6 G H z , 隔 离 度 ＜ 2 0 d B , 在 4 . 3 5 ~ 6 . 0 8 G H z 产 生 覆 盖 W L A N 的 阻 带 , 包 络 相 关 系 数 ＜ 0 . 0 2 , 分 集 增 益 ＞ 9 . 9 9 8 , 实 测 性 能 良 好 。 
 该 天 线 能 够 广 泛 应 用 于 U W B M I M O 通 信 系 统 。 
 兰 姆 波 驱 动 微 流 体 温 度 分 布 研 究 顾 赫 ， 梁 威 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 1 5 3 2 1 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 7 [ 摘 要 ： ] ( 1 1 8 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 9 7 M K B ] ( 4 5 7 3 ) A b s t r a c t : 该 文 应 用 压 电 陶 瓷 器 件 激 发 频 率 1 M H z 的 兰 姆 波 在 非 压 电 基 板 上 进 行 了 微 流 体 温 度 分 布 的 研 究 。 
 经 理 论 分 析 表 明 , 兰 姆 波 向 流 体 中 辐 射 纵 波 以 及 兰 姆 波 在 介 质 中 传 播 时 的 粘 性 摩 擦 损 失 产 生 了 声 热 效 应 。 
 采 用 红 外 摄 像 机 观 察 液 滴 从 兰 姆 波 激 发 直 至 达 到 稳 态 时 的 热 分 布 变 化 , 发 现 液 滴 在 兰 姆 波 入 射 一 侧 的 温 度 高 于 其 他 区 域 且 高 温 区 域 有 向 顶 部 扩 散 的 趋 势 。 
 观 察 不 同 液 体 黏 度 液 滴 的 声 热 现 象 , 发 现 油 滴 的 温 度 扩 散 更 均 匀 , 动 力 学 行 为 更 弱 。 
 采 用 有 限 元 分 析 声 流 和 声 热 效 应 , 发 现 液 滴 在 顶 部 区 域 声 流 速 最 大 , 在 声 流 作 用 下 , 液 滴 的 高 温 区 域 扩 散 至 顶 部 。 
 文 章 快 速 检 索 全 选 反 选 导 出 无 铅 压 电 陶 瓷 研 究 开 发 进 展 赁 敦 敏 , 肖 定 全 , 朱 建 国 , 余 萍 , 鄢 洪 建 2 0 1 6 , 2 5 ( 2 ) : 1 2 7 1 3 2 , D o i : [ 摘 要 ： ] ( 4 6 4 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 0 . 0 0 B y t e K B ] ( 0 ) A b s t r a c t : 1 环 境 协 调 型 压 电 铁 电 陶 瓷 肖 定 全 , 万 征 2 0 1 2 , 2 1 ( 5 ) : 3 6 3 3 6 6 , D o i : [ 摘 要 ： ] ( 4 5 8 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 0 . 0 0 B y t e K B ] ( 0 ) A b s t r a c t : 1 掺 P b 的 T i O 2 纳 米 功 能 材 料 的 制 备 及 其 光 催 化 性 能 孙 晓 君 , 井 立 强 , 蔡 伟 民 , 周 德 瑞 , 徐 朝 鹏 , 王 志 平 , 马 洪 志 2 0 1 6 , 2 4 ( 3 ) : 2 3 2 2 3 5 , D o i : [ 摘 要 ： ] ( 1 2 1 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 0 . 0 0 B y t e K B ] ( 0 ) A b s t r a c t : 1 压 电 陶 瓷 微 位 移 器 驱 动 电 源 及 减 小 其 纹 波 的 方 法 冯 晓 光 赵 万 生 2 0 2 4 , 1 9 ( 1 ) : 3 5 3 8 , D o i : [ 摘 要 ： ] ( 1 8 3 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 0 . 0 0 B y t e K B ] ( 0 ) A b s t r a c t : 1 压 电 变 压 器 的 研 究 和 开 发 进 展 白 辰 阳 桂 治 轮 2 0 2 2 , 2 0 ( 3 ) : 1 7 5 1 7 9 , D o i : [ 摘 要 ： ] ( 5 9 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 0 . 0 0 B y t e K B ] ( 0 ) A b s t r a c t : 1 压 电 与 声 光 ® 2 0 2 4 版 权 所 有 渝 I C P 备 0 5 0 0 2 9 6 0 号 3 地 址 ： 重 庆 南 坪 花 园 路 1 4 号 , 邮 政 编 码 ： 4 0 0 0 6 0 电 话 ： 0 2 3 6 5 8 6 0 2 6 0 6 5 8 6 0 2 8 3 传 真 ： 0 2 3 6 2 8 0 3 4 2 5 E m a i l ： y d s g s i p a t @ 1 6 3 . c o m 技 术 支 持 ： 北 京 勤 云 科 技 发 展 有 限 公 司

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