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              上 海 辉 宏 科 技 有 限 公 司   > > 欢 迎 访 上 海 辉 宏 科 技 有 限 公 司 网 站 ！ 设 为 首 页 | 加 入 收 藏 上 海 辉 宏 科 技 有 限 公 司 网 站 首 页 关 于 我 们 人 力 资 源 产 品 展 示 成 功 案 例 新 闻 动 态 联 系 我 们 在 线 留 言   质 量 为 先 ， 信 誉 为 重 ， 管 理 为 本 ， 服 务 为 诚 。 
   质 量 为 先 ， 信 誉 为 重 ， 管 理 为 本 ， 服 务 为 诚 。 
 2 4 小 时 服 务 热 线 ： 1 5 3 0 1 8 8 0 7 5 7 E L E C T R O N I C S Q u a l i t y f i r s t , r e p u t a t i o n a s t h e m o s t i m p o r t a n t . 我 们 的 优 势 O U R A D V A N T A G E 最 新 技 术 L a t e s t t e c h n o l o g y 售 后 无 忧 W o r r y f r e e a f t e r s a l e 品 质 保 障 Q u a l i t y a s s u r a n c e 质 量 为 先 ， 信 誉 为 重 ， 管 理 为 本 ， 服 务 为 诚 。 
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 > > > > 上 海 辉 宏 科 技 成 立 于 2 0 1 4 年 ， 由 在 半 导 体 行 业 从 业 多 年 的 一 群 资 深 技 术 专 家 组 建 ， 秉 持 在 「 卓 越 专 精 的 技 术 、 力 求 完 美 的 品 质 、 准 确 控 制 的 效 率 、 顾 客 满 意 的 服 务 、 承 诺 负 责 的 诚 信 」 五 大 经 营 理 念 下 ， 提 供 半 导 体 业 者 所 需 的 最 佳 技 术 支 援 服 务 ， 并 成 为 忠 实 的 事 业 伙 伴 。 
 上 海 辉 宏 科 技 有 限 公 司 是 一 家 专 业 从 事 半 导 体 仪 器 仪 表 ， 包 材 ， 耗 材 ， 配 件 销 售 的 专 业 厂 商 ， 集 销 售 、 设 计 、 维 修 、 售 后 服 务 于 一 体 ， 具 有 专 业 的 销 售 队 伍 、 一 流 的 工 程 师 技 术 ， 为 厂 家 提 供 仪 器 ， 包 材 ， 耗 材 的 销 售 、 咨 询 、 安 装 、 设 计 、 维 修 、 及 售 后 服 务 一 条 龙 服 务 。 
 主 要 服 务 于 半 导 体 、 电 子 材 料 、 液 晶 面 板 、 精 密 加 工 等 行 业 。 
  关 于 我 们 A B O U T U S 产 品 列 表 P R O D U C T S H O W E C O S Y S S c r u b b e r P L A S M A S c r u b b e r 市 场 价 : ￥ 0 . 0 0 价 格 : ￥ 0 . 0 0 E C O S Y S S c r u b b e r P L A S M A P L A S M A 是 一 个 先 进 的 区 域 式 等 离 子 + 水 洗 尾 气 处 理 系 统 ( L o c a l S c r u b b e r ) ， 旨 在 为 当 今 苛 刻 的 半 导 体 生 产 过 程 中 化 学 工 艺 提 供 可 控 的 尾 气 气 体 调 节 环 境 。 
 特 别 针 对 半 导 体 制 造 中 的 气 体 工 艺 排 放 的 P F C 。 
 P L A S M A 采 用 先 进 的 模 块 化 设 计 ， 可 应 用 于 客 户 制 程 泵 前 或 泵 后 的 工 艺 废 气 处 理 ， 独 特 的 反 应 堆 室 设 计 和 智 能 减 排 技 术 ， 是 一 个 安 全 且 经 济 有 效 的 减 排 系 统 . 应 用 : • 所 有 的 P F C 工 艺 气 体 优 势 : • 卓 越 的 P F C s 减 排 效 率 • 低 电 力 消 耗 ， 1 6 K W • 模 块 化 设 计 ， 可 用 于 制 程 P U M P 的 前 置 或 后 置 • ＞ 2 0 0 0 ℃ 的 处 理 温 度 ， 9 9 % 高 温 分 解 处 理 能 力 • 低 用 水 量 和 循 环 水 系 统 • 可 匹 配 不 同 客 户 的 制 程 需 求 ， 配 有 双 腔 设 计 ， • 低 使 用 成 本 • 易 于 安 装 和 服 务 • 第 三 方 认 证 ， S E M I S 2 认 证 ， C E m a r k 认 证 • 备 有 以 太 网 • 无 需 燃 料 E C O S Y S S c r u b b e r P L A S M A P L A S M A 是 一 个 先 进 的 区 域 式 等 离 子 + 水 洗 尾 气 处 理 系 统 ( L o c a l S c r u b b e r ) ， 旨 在 为 当 今 苛 刻 的 半 导 体 生 产 过 程 中 化 学 工 艺 提 供 可 控 的 尾 气 气 体 调 节 环 境 。 
 特 别 针 对 半 导 体 制 造 中 的 气 体 工 艺 排 放 的 P F C 。 
 P L A S M A 采 用 先 进 的 模 块 化 设 计 ， 可 应 用 于 客 户 制 程 泵 前 或 泵 后 的 工 艺 废 气 处 理 ， 独 特 的 反 应 堆 室 设 计 和 智 能 减 排 技 术 ， 是 一 个 安 全 且 经 济 有 效 的 减 排 系 统 . 应 用 : • 所 有 的 P F C 工 艺 气 体 优 势 : • 卓 越 的 P F C s 减 排 效 率 • 低 电 力 消 耗 ， 1 6 K W • 模 块 化 设 计 ， 可 用 于 制 程 P U M P 的 前 置 或 后 置 • ＞ 2 0 0 0 ℃ 的 处 理 温 度 ， 9 9 % 高 温 分 解 处 理 能 力 • 低 用 水 量 和 循 环 水 系 统 • 可 匹 配 不 同 客 户 的 制 程 需 求 ， 配 有 双 腔 设 计 ， • 低 使 用 成 本 • 易 于 安 装 和 服 务 • 第 三 方 认 证 ， S E M I S 2 认 证 ， C E m a r k 认 证 • 备 有 以 太 网 • 无 需 燃 料 > E C O S Y S S c r u b b e r G u a r d i a n G S 9 1 D u o S c r u b b e r 市 场 价 : ￥ 0 . 0 0 价 格 : ￥ 0 . 0 0 E C O S Y S S c r u b b e r G u a r d i a n G S 9 1 D u o G u a r d i a n 系 列 是 可 靠 的 行 业 标 准 ， 是 对 制 程 气 体 进 行 燃 烧 和 热 氧 化 方 式 。 
 G u a r d i a n 系 统 设 计 用 于 使 用 活 性 火 焰 燃 烧 对 残 余 工 艺 气 体 进 行 热 氧 化 。 
 制 程 中 排 出 的 气 体 通 过 主 燃 烧 室 的 火 焰 壁 ， 保 证 易 燃 和 自 燃 工 艺 气 体 副 产 品 被 充 分 燃 烧 处 理 。 
 在 G u a r d i a n 中 , 通 过 注 入 天 然 气 燃 料 （ 由 冗 余 燃 料 点 燃 ） ， 产 生 活 性 火 焰 锋 。 
 稀 释 空 气 垂 直 于 工 艺 气 体 流 入 腔 室 。 
 这 为 高 效 空 气 和 工 艺 气 体 混 合 创 造 了 旋 转 作 用 。 
 燃 烧 室 和 气 体 是 空 气 冷 却 的 ， 不 需 要 水 冷 却 。 
 冷 却 后 的 反 应 气 体 从 保 护 罩 中 流 出 ， 并 排 到 工 厂 的 排 气 系 统 。 
 多 重 安 全 联 锁 装 置 在 操 作 期 间 提 供 高 水 平 的 安 全 性 。 
 . 全 世 界 超 过 2 0 0 0 台 装 置 已 经 证 明 ， G u a r d i a n 系 列 在 处 理 工 艺 废 水 和 气 体 柜 排 气 管 路 中 的 易 燃 气 体 方 面 是 安 全 和 有 效 的 。 
 燃 料 和 点 火 器 的 瞬 时 关 闭 消 除 了 来 自 上 游 气 流 的 潜 在 点 火 源 。 
 由 于 没 有 移 动 部 件 ， 维 修 间 隔 以 年 为 单 位 进 行 平 均 故 障 间 隔 时 间 测 量 。 
 G u a r d i a n 技 术 是 一 种 行 之 有 效 的 热 氧 化 解 决 方 案 。 
 应 用 ： • 多 晶 硅 • 化 学 气 相 沉 积 • 自 燃 的 / 可 燃 气 体 燃 烧 • 气 柜 排 气 净 化 优 势 ： • 双 延 长 式 反 应 器 ， 每 个 反 应 器 配 有 2 4 个 进 口 （ 客 户 选 型 , 最 多 可 以 多 达 1 6 进 口 ） • 可 同 时 对 多 工 艺 室 和 / 或 炉 管 的 废 气 处 理 • 大 处 理 量 ， 8 0 0 S L M • 特 殊 结 构 设 计 ， H 2 处 理 量 3 0 0 S L M • 根 据 制 程 需 要 可 以 增 加 水 洗 装 置 ， （ 客 户 根 据 制 程 需 求 可 选 ） • 客 户 低 成 本 拥 有 • 无 电 加 热 元 件 ， 可 立 即 冷 却 • 安 全 、 可 靠 运 行 的 防 回 火 系 统 • 天 然 气 燃 料 支 持 • 维 护 成 本 低 • 按 年 计 算 的 平 均 故 障 间 隔 时 间 • S 2 9 3 认 证 • C E 标 志 认 证 E C O S Y S S c r u b b e r G u a r d i a n G S 9 1 D u o G u a r d i a n 系 列 是 可 靠 的 行 业 标 准 ， 是 对 制 程 气 体 进 行 燃 烧 和 热 氧 化 方 式 。 
 G u a r d i a n 系 统 设 计 用 于 使 用 活 性 火 焰 燃 烧 对 残 余 工 艺 气 体 进 行 热 氧 化 。 
 制 程 中 排 出 的 气 体 通 过 主 燃 烧 室 的 火 焰 壁 ， 保 证 易 燃 和 自 燃 工 艺 气 体 副 产 品 被 充 分 燃 烧 处 理 。 
 在 G u a r d i a n 中 , 通 过 注 入 天 然 气 燃 料 （ 由 冗 余 燃 料 点 燃 ） ， 产 生 活 性 火 焰 锋 。 
 稀 释 空 气 垂 直 于 工 艺 气 体 流 入 腔 室 。 
 这 为 高 效 空 气 和 工 艺 气 体 混 合 创 造 了 旋 转 作 用 。 
 燃 烧 室 和 气 体 是 空 气 冷 却 的 ， 不 需 要 水 冷 却 。 
 冷 却 后 的 反 应 气 体 从 保 护 罩 中 流 出 ， 并 排 到 工 厂 的 排 气 系 统 。 
 多 重 安 全 联 锁 装 置 在 操 作 期 间 提 供 高 水 平 的 安 全 性 。 
 . 全 世 界 超 过 2 0 0 0 台 装 置 已 经 证 明 ， G u a r d i a n 系 列 在 处 理 工 艺 废 水 和 气 体 柜 排 气 管 路 中 的 易 燃 气 体 方 面 是 安 全 和 有 效 的 。 
 燃 料 和 点 火 器 的 瞬 时 关 闭 消 除 了 来 自 上 游 气 流 的 潜 在 点 火 源 。 
 由 于 没 有 移 动 部 件 ， 维 修 间 隔 以 年 为 单 位 进 行 平 均 故 障 间 隔 时 间 测 量 。 
 G u a r d i a n 技 术 是 一 种 行 之 有 效 的 热 氧 化 解 决 方 案 。 
 应 用 ： • 多 晶 硅 • 化 学 气 相 沉 积 • 自 燃 的 / 可 燃 气 体 燃 烧 • 气 柜 排 气 净 化 优 势 ： • 双 延 长 式 反 应 器 ， 每 个 反 应 器 配 有 2 4 个 进 口 （ 客 户 选 型 , 最 多 可 以 多 达 1 6 进 口 ） • 可 同 时 对 多 工 艺 室 和 / 或 炉 管 的 废 气 处 理 • 大 处 理 量 ， 8 0 0 S L M • 特 殊 结 构 设 计 ， H 2 处 理 量 3 0 0 S L M • 根 据 制 程 需 要 可 以 增 加 水 洗 装 置 ， （ 客 户 根 据 制 程 需 求 可 选 ） • 客 户 低 成 本 拥 有 • 无 电 加 热 元 件 ， 可 立 即 冷 却 • 安 全 、 可 靠 运 行 的 防 回 火 系 统 • 天 然 气 燃 料 支 持 • 维 护 成 本 低 • 按 年 计 算 的 平 均 故 障 间 隔 时 间 • S 2 9 3 认 证 • C E 标 志 认 证 > E C O S Y S S c r u b b e r M a r a t h o n 8 6 0 0 S c r u b b e r 市 场 价 : ￥ 0 . 0 0 价 格 : ￥ 0 . 0 0 E C O S Y S S c r u b b e r M a r a t h o n 8 6 0 0 M a r a t h o n 8 6 0 0 是 一 个 先 进 的 ， 燃 烧 水 洗 处 理 系 统 ， 旨 在 为 当 今 苛 刻 的 半 导 体 和 平 板 显 示 工 艺 化 学 提 供 一 个 可 控 的 气 体 调 节 环 境 。 
 该 系 统 是 专 门 设 计 用 于 优 良 的 P F C 减 排 效 率 ， 以 帮 助 工 业 实 现 其 环 境 的 目 标 和 承 诺 。 
 马 拉 松 以 其 先 进 的 反 应 堆 室 设 计 和 智 能 减 排 技 术 ， 为 延 长 P M 循 环 提 供 了 卓 越 的 颗 粒 管 理 和 成 本 效 益 高 的 减 排 解 决 方 案 。 
 M a r a t h o n 的 六 入 口 组 件 和 高 流 量 能 力 可 以 被 配 置 成 通 过 处 理 每 个 减 排 单 元 的 多 个 工 艺 工 具 来 进 一 步 降 低 前 期 资 本 成 本 和 C o O ， 并 且 提 供 1 0 0 % 具 有 自 动 备 份 能 力 的 工 艺 ， 保 持 制 程 工 具 正 常 运 行 。 
 应 用 : • 半 导 体 和 平 板 显 示 器 优 势 : • 六 入 口 组 件 • 出 色 的 P F C 减 排 效 率 • 有 限 的 N O x 和 C O 排 放 • 优 良 的 颗 粒 管 理 技 术 • 高 流 量 处 理 能 力 • 减 少 水 消 耗 和 循 环 水 系 统 • 稳 定 的 热 处 理 • 低 成 本 维 护 • 易 于 安 装 和 服 务 • 第 三 方 认 证 ， 符 合 S E M I S 2 ， C E 认 证 • 以 太 网 准 备 E C O S Y S S c r u b b e r M a r a t h o n 8 6 0 0 M a r a t h o n 8 6 0 0 是 一 个 先 进 的 ， 燃 烧 水 洗 处 理 系 统 ， 旨 在 为 当 今 苛 刻 的 半 导 体 和 平 板 显 示 工 艺 化 学 提 供 一 个 可 控 的 气 体 调 节 环 境 。 
 该 系 统 是 专 门 设 计 用 于 优 良 的 P F C 减 排 效 率 ， 以 帮 助 工 业 实 现 其 环 境 的 目 标 和 承 诺 。 
 马 拉 松 以 其 先 进 的 反 应 堆 室 设 计 和 智 能 减 排 技 术 ， 为 延 长 P M 循 环 提 供 了 卓 越 的 颗 粒 管 理 和 成 本 效 益 高 的 减 排 解 决 方 案 。 
 M a r a t h o n 的 六 入 口 组 件 和 高 流 量 能 力 可 以 被 配 置 成 通 过 处 理 每 个 减 排 单 元 的 多 个 工 艺 工 具 来 进 一 步 降 低 前 期 资 本 成 本 和 C o O ， 并 且 提 供 1 0 0 % 具 有 自 动 备 份 能 力 的 工 艺 ， 保 持 制 程 工 具 正 常 运 行 。 
 应 用 : • 半 导 体 和 平 板 显 示 器 优 势 : • 六 入 口 组 件 • 出 色 的 P F C 减 排 效 率 • 有 限 的 N O x 和 C O 排 放 • 优 良 的 颗 粒 管 理 技 术 • 高 流 量 处 理 能 力 • 减 少 水 消 耗 和 循 环 水 系 统 • 稳 定 的 热 处 理 • 低 成 本 维 护 • 易 于 安 装 和 服 务 • 第 三 方 认 证 ， 符 合 S E M I S 2 ， C E 认 证 • 以 太 网 准 备 > M a r a t h o n M 9 1 S c r u b b e r 市 场 价 : ￥ 0 . 0 0 价 格 : ￥ 0 . 0 0 M 9 1 是 一 个 先 进 的 燃 烧 水 洗 处 理 系 统 ， 旨 在 为 当 今 苛 刻 的 半 导 体 和 平 板 显 示 器 生 产 过 程 中 化 学 工 艺 提 供 可 控 的 尾 气 气 体 调 节 环 境 。 
 M 9 1 的 设 计 可 使 废 气 通 过 主 腔 室 的 火 焰 壁 ， 从 而 确 保 点 燃 易 燃 和 自 燃 过 程 气 体 , 然 后 在 以 湿 式 洗 涤 系 统 以 去 除 水 溶 性 有 害 物 质 。 
 M 9 1 符 合 用 于 氟 化 温 室 气 体 的 受 控 分 解 和 氧 化 处 理 的 行 业 标 准 。 
 M a r a t h o n M 9 1 燃 烧 水 洗 处 理 行 业 标 准 应 用 • 半 导 体 • 平 板 显 示 器 优 势 • 低 功 耗 • 有 限 的 N O x 和 C O 排 放 • 高 流 量 • 减 少 水 的 消 耗 和 循 环 水 系 统 • 拥 有 成 本 低 • 易 于 安 装 和 服 务 • S E M I S 2 认 证 ， C E 认 证 • 备 有 以 太 网 M 9 1 是 一 个 先 进 的 燃 烧 水 洗 处 理 系 统 ， 旨 在 为 当 今 苛 刻 的 半 导 体 和 平 板 显 示 器 生 产 过 程 中 化 学 工 艺 提 供 可 控 的 尾 气 气 体 调 节 环 境 。 
 M 9 1 的 设 计 可 使 废 气 通 过 主 腔 室 的 火 焰 壁 ， 从 而 确 保 点 燃 易 燃 和 自 燃 过 程 气 体 , 然 后 在 以 湿 式 洗 涤 系 统 以 去 除 水 溶 性 有 害 物 质 。 
 M 9 1 符 合 用 于 氟 化 温 室 气 体 的 受 控 分 解 和 氧 化 处 理 的 行 业 标 准 。 
 M a r a t h o n M 9 1 燃 烧 水 洗 处 理 行 业 标 准 应 用 • 半 导 体 • 平 板 显 示 器 优 势 • 低 功 耗 • 有 限 的 N O x 和 C O 排 放 • 高 流 量 • 减 少 水 的 消 耗 和 循 环 水 系 统 • 拥 有 成 本 低 • 易 于 安 装 和 服 务 • S E M I S 2 认 证 ， C E 认 证 • 备 有 以 太 网 > 东 京 计 装 流 量 计 （ T o k y o K e i s o F l o w M e t e r ) 配 件 ， 耗 材 市 场 价 : ￥ 0 . 0 0 价 格 : ￥ 0 . 0 0 东 京 计 装 流 量 计 （ T o k y o K e i s o F l o w M e t e r ) , 广 泛 应 用 与 纯 水 （ D I w a t e r ） ， 化 学 品 （ c h e m i c a l ） ， 气 体 （ N 2 , C D A , H 2 ， A R , C L 等 。 
 东 京 计 装 流 量 计 （ T o k y o K e i s o F l o w M e t e r ) , 广 泛 应 用 与 纯 水 （ D I w a t e r ） ， 化 学 品 （ c h e m i c a l ） ， 气 体 （ N 2 , C D A , H 2 ， A R , C L 等 。 
 > 真 空 吸 笔 治 具 市 场 价 : ￥ 0 . 0 0 价 格 : ￥ 0 . 0 0 代 理 H s q u a r e ， 客 户 定 制 ， 特 点 ： 1 . 全 部 使 用 防 静 电 材 料 。 
 2 . 笔 头 采 用 P E E K E S D , 可 耐 2 5 0 ° 高 温 ， 耐 腐 蚀 ， 无 惧 划 伤 ， 自 润 滑 。 
 3 . 笔 杆 为 P O M + 塑 钢 ， 高 硬 度 ， 耐 腐 蚀 ， 耐 摩 擦 。 
 4 . 专 用 笔 座 ， 自 润 滑 ， 耐 摩 擦 ， 降 低 p a r t i c l e 产 生 。 
 5 . 气 管 采 用 硅 胶 材 料 ， 防 静 电 ， 最 高 可 耐 1 8 0 ° ， 拉 伸 长 达 2 米 。 
 代 理 H s q u a r e ， 客 户 定 制 ， 特 点 ： 1 . 全 部 使 用 防 静 电 材 料 。 
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